第九章 扫描探针显微分析技术。.ppt

第九章 扫描探针显微分析技术 ? 一 . 绪论 ? 二 . 扫描隧道显微镜（ STM ） ? 三 . 原子力显微技术（ AFM ） ? 四 . 磁力显微技术 一 . 绪论 社会发展、科技进步总伴随着工具的完善 和革新。以显微镜来说吧，发展至今可以说是有 了三代显微镜。这也使得人们对于微观世界的认 识越来越深入，从微米级，亚微米级发展到纳米 级乃至原子分辨率。 微观世界的探索 第一代为光学显微镜 1830 年代后期为 M.Schleide 和 T.Schmann 所发明；它使人类“看” 到了致病的细菌、微生 物和微米级的微小物体， 对社会的发展起了巨大 的促进作用，至今仍是 主要的显微工具 . 第二代为电子显微镜 20 世纪三十年代 早期卢斯卡（ E.Ruska ） 发明了电子显微镜，使 人类能”看”到病毒等 亚微米的物体，它与光 学显微镜一起成了微电 子技术的基本工具。 第三代为扫描探针显微镜 也可简称为纳米显微镜。 1981 年比尼格和罗勒发明了扫 描隧道显微镜（ STM ），使人 类实现了观察单个原子的原望； 1985 年比尼格、应奎特发明了 可适用于非导电样品的原子力 显微镜（ AFM ），也具有原 子分辨率，与扫描隧道显微镜 一起构建了扫描探针显微镜 （ SPM ）系列。 三种观察原子的方法比较 TEM X — 衍射 STM/AFM 空间分辨率 1-- 10? 1 ? 1 ? （ Z ： 0.1 ? ） 样品制备测量 条件 超薄切片真空 结晶样品 mg 级 量 近自然、液体 μg --ng 结构信息 2 维 平均结构参数， 三维内部结构 单个分子结构、 局域结构、 表面三维结构 图像 直观 拟合、重构 真实、直观 ? 2.1 扫描隧道显微镜（ STM ）的基本原理 ? 2.2 STM 两种扫描模式 ? 2.3 STM 的优势、局限性与发展 二 . 扫描隧道显微镜（ STM ） 利用量子理论中的隧道效应。将原子线度的极细探针和 被研究物质的表面作为两个电极，当样品与针尖的距离非常 接近时（通常小于 1nm ），在外加电场的作用下，电子会穿 过两个电极之间的势垒流向另一电极。这种现象即是隧道效 应。隧道电流 I 与针尖和样品之间距离 S 和平均功函数 Φ 有 关： 扫描探针一般采用直径小于 1mm 的细金属丝，如钨丝、 铂 ― 铱丝等；被观测样品应具有一定导电性才可以产生隧道 电流。 2.1 扫描隧道显微镜（ STM ） 的基本原理 隧道电流是间距的指数函数； 如果针尖与样品间隙（ ? 级尺度）变化 10% ，隧道电流则变化一个数量级。 STM 的针尖 ~ 样品相互作用示意图 2.2 STM 两种扫描模式 ? 恒定高度模式 －检测隧道 电流变化 ? 恒定电流模式－检测高度 变化 ? 两种模式各有利弊。恒高 模式扫描速率较高，因为 控制系统不必上下移动扫 描器，但这种模式仅适用 于相对平滑的表面。恒电 流模式可以较高的精度测 量不规则表面，但比较耗 时。 扫描隧道显微镜 (STM) 在研究 物质表面结构 、 生物 样品 及 微电子技术 等领域中 成为很有效的实验工具。例 如生物学家们研究单个的蛋 白质分子或 DNA 分子；材料 学家们考察晶体中原子尺度 上的缺陷；微电子器件工程 师们设计厚度仅为几十个原 子的电路图等，都可利用扫 描隧道显微镜 (STM) 仪器。 有严重缺陷的高分子镀膜 2.3 STM 的优势、局限性与发展 在扫描隧道显微镜 (STM) 问世之前，这些微观世界还 只能用一些烦琐的、往往是 破坏性 的方法来进行观测。而 扫描隧道显微镜 (STM) 则是对样品表面进行 无损探测 ，避 免了使样品发生变化，也无需使样品受破坏性的高能辐射 作用。 另外，任何借助透镜来对光或其它辐射进行聚焦的显 微镜都不可避免的受到一条根本限制：光的衍射现象。由 于光的衍射，尺寸小于光波长一半的细节在显微镜下将变 得模糊。而扫描隧道显微镜 (STM) 则能够轻而易举地克服 这种限制，因而可获得 原子级的高分辨率 。 瑞士苏黎世研究实验室的宾尼格 (