电容式加速度传感器课程设计1003030304.pdfVIP

湖南科技大学本科课程设计 摘 要 随着科学技术的不断发展， 自动化智能化一步一步走入人们生活中的每一个 角落。然而自动化与智能化的实现无疑离不开传感器。传感器这个大家族之中， 电容式传感器又占有举足轻重的位置。电容器传感器的优点是结构简单 ,价格便 宜，灵敏度高，零磁滞，真空兼容，过载能力强，动态响应特性好和对高温、辐 射、强振等恶劣条件的适应性强等。 缺点是输出有非线性， 寄生电容和分布电容 对灵敏度和测量精度的影响较大， 以及联接电路较复杂等。 本课程设计设计了一 种基于 MEMS 的电容式测量加速度的传感器。 基于微机电系统 ( MEMS) 技术的微机械加速度传感器具有体积小、质量 轻、启动快、功耗低、 易集成、可靠性好、 抗过载能力强和成本低廉等诸多优点， 在航空航天、 汽车技术机器人技术、 工业自动化、 掌上电子产品等诸多领域得到 了广泛的应用。 根据其敏感信号方式， 可以分为微型电容式速度传感器、