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- 2020-08-21 发布于天津
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操作流程操作安全警告请遵守如下给出的安全说明并注意适当的防范措施否则可能导致人员伤亡和设备损坏在您操作任何部件之前请阅读所有相关的说明的表面或部件可能很热或很冷请不要触碰热的或冷的表面比如泵体材料夹具真空腔体和连有石英加热并有其他排气工艺的部件请保持所有配件柜处于闭锁状态请不要把钥匙留在锁上在腔体打开的时候电子枪挡板是可以转动的操作员需注意因为挡板不留意的转动可能导致人员伤害并导致设备损坏启动启动启动冷却水源启动压缩气体源尺期尺期就亡启动充气气体源请确保在寸控制柜面板上的所有部件的控制都处于关的
TF500操作流程
1 操作安全
警告
请遵守如下给出的安全说明并注意适当的防范措施。否则，可能导致人员伤亡 和设备损坏。
?在您操作任何部件之前请阅读所有相关的说明。
? TF500的表面或部件可能很热或很冷。请不要触碰热的或冷的表面，比 如泵体，材料，夹具，真空腔体和连有石英加热并有其他排气工艺的部 件。
?请保持所有配件柜处于闭锁状态。请不要把钥匙留在锁上。
?在腔体打开的时候，电子枪挡板是可以转动的。操作员需注意，因为挡 板不留意的转动可能导致人员伤害并导致设备损坏。
2 TF500启动
2.1启动TF500
2.1
启动冷却水源
启动压缩气体源
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