微电子技及其的应用.pptVIP

微电子技术及其在 当今社会中的应用 ●微电子和微电子技术 ●半导体材料与 半导体集成电路工艺技术 ●微电子技术发展及现状 ●微电子技术应用和作用  微电子和微电子技术 ●微电子 微型的电子电路 ●微电子技术 微型电子电路技术  半导体材料和半导体 集成电路 ●半导体及其基本特性 当半导体中的杂质含量很高时,电 导率很高,呈现一定的金属性; 纯净半导体在低温下的电导率很低, 呈现出绝缘性。  半导体材料和半导体 集成电路 ●集成电路中的基本元件结构 阴极阳极 集电极基极发射极源极、栅极漏极 N1金属 P型衬底 P型衬底 P型衬底P型 阱 PN结二极管 NPN晶体管 nMOS晶体管  半导体集成电路工艺技术 ●双极集成电路工艺 砷注入 SiO Sio psi衬底 (a)埋层制备  半导体和半导体集成电路 ●双极集成电路工艺 N外延层 P衬底 什+埋层 (b)外延层制备  半导体集成电路工艺技术 ●双极集成电路工艺 光致抗蚀剂 钝化层 (c)隔离区窗口制备  半导体和半导体集成电路 ●双极集成电路工艺 沟道隔断区硼离子注入 P (d)氧化物隔离区制备(1)  半导体集成电路工艺技术 ●双极集成电路工艺 区XXx ⅨXNⅨx P沟道隔断区 (e)氧化物隔离区制备(2)