反射率测的量XRR简介.pptVIP

薄膜材料的Ⅹ射线反射率测量介绍 R三R N 杨宁博士 XRD应用工程师 德国布鲁克ANS有限公司北京代 表处 北京海淀区中关村南大街 光大国信大厦5201室 Rb Sr 电话01068489468 服务热线:800-81 手机:1381195247 传真:010-884 cmail ning 提纲 BRUUKER ⅩRR介绍 ·仪器硬件选择和测量配置 ⅩRR数据解析 什么是薄膜的反射率测量(XRR)? BRUUKER 反射率测量(XRR)是利用X射线在物质中发生的折射和反射(表 面,界面),以及反射线之间的互相干涉对薄膜的性质(密度,厚 度,粗糙度)进行研究的一种方法 对材料表面非常敏感的技术 无损 纳米尺度检测 晶体和非晶材料 XRR可以提供哪些信息? 簿膜厚度0.1n-1000nm 材料密度1-2% 表面和界面粗糙度3-5 可获得的样品信息 BRUUKER B A B 膜层厚度 化学成分 膜层密度 表面和界面粗糙度 镜面反射 反射率测量(XRR)对样品的要求 BRUUKER 可以在样品中看到 你的影子 平整样品表面,二维方向没有结构 样品表面粗糙度5n 膜层和衬底,或者不同的膜层之间 存在比较显著的物质或者电子密度 差异 沿着x射线的方向,样品长度至少3-5 反射率测量(XRR)的基本原理 BRUUKER Snells law h1Cos况1=m2cos2 n1 X