光伏发电技术基础 知识点3 单晶硅和多晶硅太阳电池 PECVD的认识.pptVIP

拿承载盒时（空），一只手只能拿两个。 卸片后，承载盒必须放入小车内，严禁放在小车盖子上。 领班、工序长不在现场时，不允许用手移动石墨舟。 出现事故，第一时间通知领班到场，且保留现场，绝不允许有隐瞒事故真相的事情发生。 PECVD安全注意事项 产品安全 进入机器需戴手套不允许手直接接触石墨舟和小车上的不锈钢网罩 从刻蚀间运片子时保证有片子的小车盖子盖好 拉到PECVD岗位后，需将片子放入洁净柜中 保证流到下道工序片子的质量 拿片子时，只允许一只手拿一盒 搬运木制承载盒时，双手要托住盒子底部 PECVD安全注意事项 单（多）晶颜色差： A级片（优质片）：单片电池的颜色均匀一致，颜色范围从蓝色开始，深蓝色、红色、黄褐色、到褐色之间允许相近色差(例如:蓝色和深蓝色存在于单体电池上，但是不允许跳色,即蓝到红)，主体颜色为深蓝色，单体电池最多只允许存在2种颜色。 B级片（一级片）：单片电池颜色不均匀，允许存在跳色色差,最多跳一个相近色(例如：红色和褐色存在于单体电池上)，主体颜色为蓝色～红色范围，单体电池最多只允许存在3种颜色。 C级片（降级片）：超过B合格片的检验范围，包括完全未镀上减反射膜的电池片。 判断PECVD 的产出硅片的质量 光电工程学院 山东理工职业学院 光伏发电技术基础 PECVD的认识 PECVD： Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 等离子增强化学气相沉积 等离子体：气体在一定条件下受到高能激发，发生电离，部分外层电子脱落原子核，形成电子、正离子和中性粒子混合物组成的一种形态，这种形态就称为等离子态即第四态 PECVD的原理及作用 工作原理：Centrotherm PECVD 系统是一组利用平行板镀膜舟和低频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接在装在镀膜板中间的介质中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体作用于存储在硅片上的氮化硅。可以根据改变硅烷对氨的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。 PECVD的原理及作用 技术原理：是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。PECVD方法区别于其它CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生成活性很高的各种化学基团，因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温下实现。 PECVD的原理及作用 3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2↑ Si3N4的认识:Si3N4膜的颜色随着它的厚度的变化而变化，其理想的厚度是73—77nm之间，表面呈现的颜色是深蓝色。Si3N4膜的折射率在1.9—2.1之间为最佳，与酒精的折射率相近，通常用酒精来测其折射率。 PECVD的原理及作用 Si/N比对SiNx薄膜性质的影响: 电阻率随x增加而降低 折射率n随x增加而增加 腐蚀速率随密度增加而降低 SiNx的优点： 优良的表面钝化效果 高效的光学减反射性能（厚度折射率匹配） 低温工艺（有效降低成本） 反应生成的H离子对硅片表面进行钝化 PECVD的原理及作用 物理性质和化学性质： 结构致密，硬度大 能抵御碱、金属离子的侵蚀 介电强度高 耐湿性好 PECVD的原理及作用 Si3N4膜的作用: 减少光的反射:良好的折射率和厚度可以促进太阳光的吸收。 防氧化:结构致密保证硅片不被氧化。 PECVD的原理及作用 PECVD设备结构 晶片装载区 炉体 特气柜 真空系统 控制系统 PECVD设备结构示意图 晶片装载区：桨、LIFT、抽风系统、SLS系统。 桨： 由碳化硅材料制成，具有耐高温、防 变形等性能。作用是将石墨舟放入或 取出石英管。 LIFT： 机械臂系统，使舟在机械臂作用下在