《固体电子学》第六章固体表面及界面接触现象.pptx

第六章：固体表面及界面接触现象;§6.1 表面态;6.1.2 表面态; 每个Si原子的4个价电子与最近邻的4个Si原子的各一个价电子组成共价键。;考虑到表面处的电子能量小于真空能量V0，电子波函数必须满足有限单值连续的条件，可以得到电子能级：; 根据表面态被电子占据后所带电性的不同，可以分为类施主态和类受主态：;6.1.3 表面态密度;§6.2 表面电场效应;6.2.1 外电场对半导体表面的影响;由于表面层内存在电场，必然存在势能。附加了电势能后，半导体表面层内的能带必然发生变化。下面以P型半导体为例分析。; 空间电荷区出现附加的静电势能，使电子在半导体内部和表面层的势能不相同，则相应的能带发生变化。;达到稳定时，半导体表面层内的电场变化与相应的电荷分布联系在一起的。;?;B;B;B;B;6.2.3 各种表面层状态;理想的自由半导体表面，没有任何外界作用因素，表面能带不发生弯曲，半导体表面处于平带状态。; 外电场指向P型半导体，表面势Vs大于零，半导体表面处能带向下弯曲，形成多数载流子空穴的势垒。越靠近表面，价带顶的能量位置离EF越远，空穴浓度越低。 假设外电场作用使半导体表面势垒高到足以使表面层的多数载流子几乎丧失完，表面层的电荷密度基本上等于电离杂质的浓度，这样的半导体表面层称为多数载流子的耗尽状态。;泊松方程：; 在多数载流子耗尽的情形下，外电场进一步增大，表面能带进一步向下弯曲，出现费米能级高于禁带中央能量位置的情形。这表明表面处的少数载流子浓度超过该处的多数载流子浓度，形成与原半导体衬底导电类型相反的表面层，称为少数载流子的反型层。 表面层出现反型可以分为弱反型和强反型两种状态。弱反型和强反型的条件由表面处的少数载流子浓度和多数载流子浓度相比较而定。;此时表面处费米能级到导带底的距离小于到价带顶的距离，即：;此时表面处费米能级到表面导带底的距离小于到内部价带顶的距离，即：;B;平衡态;6.2.4 表面电导; 电导率与载流子浓度相关，因此半导体体内和表面的电导率有明显差别。