薄膜材料表征方法分析.pptVIP

第六章薄膜材料的表征方法 较为广泛的方法: 薄膜的厚度测量 薄膜的形貌和结构的表征 薄膜成分的分析 薄膜附着力的测量 611薄膜厚度的光学测量方法 ■光学方法可被用于透明和不透明薄膜 ■使用方便,测量精度高 ■多利用光的干涉现象作为测量的物理基础 611薄膜厚度的光学测量方法 6.1.1.1光的干涉条件 人射光 反射光 膜 图61单色光情况下薄膜的干涉条件 nc(AB+BC-AN=2 n hcos0=N(N-任意正整数) 611薄膜厚度的光学测量方法 6.112不透明薄膜厚度测量的等厚干涉法 台阶上下沉积一层高反射率的金属层 覆盖半反射半透明的平板玻璃片 单色光照射,玻璃片和薄膜之间光的反射导致干涉现象 光干涉形成极大的条件为S=1/2(N-1) 在玻璃片和薄膜的间距S增加ΔS=/2时,将出现一条对应 的干涉条纹,间隔为△ 薄膜上形成的厚度台阶也会引起光程差S的改变,因而它会 使得从显微镜中观察到的光的干涉条纹发生移动 条纹移动A所对应的台阶高度应为h=M(2A0) 测出A和A,即测出了薄膜的厚度 611薄膜厚度的光学测量方法 6112不透明薄膜厚度测量的等色干涉法 口使用非单色光源照射薄膜表面 口采用光谱仪测量玻璃片、薄膜间距S引起的相邻两个干涉极大 条件下的光波长λ1、2,以及台阶h引起的波长差A 口由下式推算薄膜台阶的高度 h 口等色干涉法的厚度分辨率高于等厚干涉