日立S4800扫描电子显微镜参考幻灯片.pptVIP

Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 聚焦和消像散示意图 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 聚焦和消像散过程 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 日立 S-4800 的对中操作 电子束电对中 光阑电对中 像散 X 电对中 像散 Y 电对中 复位键 复位所有键 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 为获得更好的图像 聚焦（ FOCUS ） 消相散 （ Stigmation ） 电子束校正 （ Axis Alignment ） Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 2.3 参数选择对图片的影响 - 如何获得满意的图片 图像的质量取决于很多因素：分辨率，信噪比，景深，感兴趣的 细节（如表面细节或内部信息、成分差异等），我们需要通过调整仪器 参数来获得。 对于 S-4800 我们经常改变的参数有： a. 加速电压； b. 工作距离； c. 上下探头的选择； d.SE 信号与 BSE 信号的选择； e. 发射电流 Ie ， Probe Current, C1 等 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 a. 加速电压的选择 加速电压 低 高 分辨率 低 高 二次电子强度 低 高 荷电 低 高 污染 高 低 对样品损伤 低 高 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 照射电子在样品内部的散乱 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 照射电子在样品内部的散乱 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 高、低加速电压图像对比 加速电压： 20KV 加速电压： 1KV Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 加速电压： 15KV 加速电压： 1KV 高、低加速电压图像对比 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 低电压如何提高图像的分辨率？ ---- 减少工作距离 WD=2.3mm WD=8.3mm Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 b. 工作距离对分辨率的影 响：工作距离越小，分辨 率越高。 假定电子光学系统为 无像差的情况下 ,SEM 的分辨率 ( ｄ ) 可以用下 述数学公式来表示： d=d0 ? M1 ? M2 ? M3 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 加速电压： 5KV 放大倍数： X300K 样品：聚合物 +Ag （未喷镀） 加速电压： 3KV 放大倍数： X500K 样品： LiMnO3 粉末（未喷镀） 低加速电压条件下的高分辨图片 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 工作距离对景深的影响：工作距离越大，景深越好。 工作距离： 3mm 加速电压： 3KV 放大倍数： X5K 样品：水泥（喷镀） 工作距离： 12mm 加速电压： 3KV 放大倍数： X5K 样品：水泥（喷镀） Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 景深： 透镜物平面允许的轴向 偏差为透镜的景深。 Df 表示景深 Δro 表示电磁透镜的分辨率 α 表示孔径半角 加速电压： 1KV 放大倍数： X50K 样品： Cu 2 S 粉末（未喷镀） ? ? ro ro Df ? ? ? ? 2 tan 2 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 影响“景深”的电镜参数设定 1 、工作距离越长“景深”越大。 2 、物镜活动光阑孔越小“景深”越大。 3 、 Focus Depth 的值越大，“景深”越 大。 Copyright ? 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 2 日立 S-4800 的操作和应用技术 c. 上探头（ Upper Detec