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PHOTOP 光学薄膜技术简介 高意光学薄膜中心 王启平 Photop Technologies, Inc. Photop Confidential  PHOTOP 光学薄膜的作用 光学薄膜在光学系统中的作用就是功能 函数 光学薄膜发展的三个跃迁点: 1.真空的实现(1930) 2激光的出现(1962) 3.光通讯技术的推动(1997) Photop Technologies, Inc.  PHOTOP 光学薄膜从设计到 三·根据设计输入及经验确立膜系结构 使用设计软件并人为引导优化的方向进 行设计 ·依据设备特点制定控制策略 测试制备结果 ·反演过程及调整控制策略 Photop Technologies, Inc.  PHOTOP 光学薄膜 输入:使用条件(入射角,入射介质,基片材料), 光性要求(工作波长,反射率,透过率,偏振态,位 相,颜色等) 输出:膜系,广义的是可直接执行的程序 RUNSHEET,包括控制方式及设置) 验证:(间接)分光光度计 评价设计的标准:(容限,材料的种类,工艺时间) Photop Technologies, Inc. Photop Confidential  PHOTOP 入射平面波前 N 入射媒质 界面 閤是 N 膜层 一昇面b 2 N 膜层 膜层界 界面 基片 Photop Technologies, Inc. Photop Confidential  PHOTOP cosd i sin d B r=l in, sin 8 其中:o 2n d coso 1=N,cOsO对于T波(s-波) 对于IM波(p-波) No oo=N sin e Photop Technologies, Inc.  PHOTOP 反射率三R=(B-C|B-C 7B+C人mB+C 透射率7= n-17 n, B+CNb+C) 三吸收率三 A=1-R-7=(-R)1-n%n Re(bC 三反射相移= arct in(CB-BC no BB-CC Photop Technologies, Inc.  PHOTOP 矢量法 如果忽略膜层内的多次反射, 则合成的振幅反射系数由每一 界面的反射系数的矢量和确定 入射媒质 每个界面的反射系数都联带着 个特定的相位滞后,它对应 于光波从入射表面进至该界面2( 又回到入射表面的过程 2i01 r=n+re +e2(+2) tne 2i(61+02+O3) Photop Technologies, Inc.  PHOTOP 麦克劳得导纳图解 ·如果从基片开始通过每一层膜直到多层膜的 前表面,把平行于基片的任意平面处的光学 导纳画在一复平面上则描述了整个生长过程 中多层膜导纳的变化轨迹。对于每一层介质 三膜,导纳轨迹是圆心位于实轴上的园或圆弧。 ·增透膜和高反膜的导纳图(直接在软件上演示) Photop Technologies, Inc.  PHOTOP 1光学厚度层一反射率 nd=1/4*o 100% 光学厚度层 nd=1/2 50% 布儒斯特效应 入射角 Photop Technologies, Inc.