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真空吸笔使用规范  使用真空吸笔的目的 避免 Wafer的正面在传递和转移中和其他 物体有物理接触。从而把 Particle和 Scratch 等造成的不良降到最低。 二、用手和镊子夹去 Wafer的情况要尽量避免 和杜绝。  正确的使用方法示范 Step 1 首先把 放置平稳,方 便操作 Cassette放置 在作业台上, 并保证放置平 稳,方便操作  正确的使用方法示范 Step2:认 真检查 Cassette 检查Waer的方 向是否正确,确 放置方向 保方向一致。 是否正确。 Cassette 内的 Wafer 是否有方 向防反的 现象。 2012810:54  正确的使用方法示范 Step 3 拿紧真空 拿稳吸笔,用拇 吸笔,用 指控制开关 食指夹紧 开关的前 端,拇指 推动开关。 202057  正确的使用方法示范 Step 4 笔头平 笔头完全和 行轻触 Waer接触 防止吸力不足 Wafer背 而导致滑落。 面,并确 保笔头完 全和 Wafer接 触,吸稳 Wafer。 2011042810  正确的使用方法示范 Step 5 以 Wafer 的背面为 着力点 垂直平稳抽出,以 Waer背面受力 垂直将 并保持 Wafer正面 Wafer抽 不受力。 出。速度 保持平稳 5  以 Wafer的背面为受 力点,避免正面和 Cassette摩擦。 2011/028110  正确的使用方法示范 Step 6 将 Cassette 倾斜一定角度,并 将Waer对准位置 倾斜一定角 避免错位。 度,将 Wafe对 好要放置 的位置  Step 7: 面入 Wafer,避免正 面和 Cassette产生 以 Wafer 摩擦 的边缘 和背面 为受力 点,插 入 Cassett e 201140428101