第6章-压电式传感器v2PPT课件.ppt

涡街流量计;2;迈克尔逊干涉仪;4;心率测量;6;喇叭点亮LED灯;8;第6章 压电式传感器;压电式传感器是一种典型的发电传感器，它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量电测的目的。 优点：尺寸小，重量轻，工作频率宽，可测量最终能变换为力的那些非电物理量，例如动态力（一般必须高于100Hz） 、动态压力、振动加速度等，但不能用于静态参数的测量。;6.1 压电效应与压电材料;逆压电效应/电致伸缩效应:当在电介质的极化方向施加电场，电介质在一定方向上产生机械变形，内部出现机械应力，外加电场撤去后，这些变形和应力也随之消失，这种将电能转换为机械能的现象称为逆压电效应/电致伸缩效应。 ;石英晶体的压电效应演示; 将超声波（机械振动波）转换成电信号是利用压电材料的___ __；蜂鸣器中发出“嘀……嘀……”声的压电片发声原理是利用压电材料的___ ___。;压电材料/压电元件： 具有压电效应的电介质 常见的压电材料有： 石英晶体 经过极化处理的压电陶瓷 高分子压电材料; ;一、石英晶体：;天然形成的石英晶体外形;石英晶体切片及封装;石英晶体振荡器（晶振）;6.1石英晶体的压电效应 石英晶体具有如图6.1所示的规则的几何形状，它是一个六棱柱，两端是六棱锥。石英晶体是各向异性体，即在各个方向晶体性质是不同的。; 在结晶学中，将石英晶体的结构用三根互相垂直的轴来表示，其中纵向轴Z称为光轴，经过六棱柱棱线并垂直于光轴的X轴称为电轴，与X轴和Z轴同时垂直的Y轴（垂直于棱面）称为机械轴。;光轴;石英晶体产生压电效应的微观机理;（1）当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。;(b) Fx0;（3）当晶体受到沿x方向的拉力（Fx ＞0）作用时，P1增大， P2、 P3减小，此时它们在x、y、z三个方向上的分量为 (P1 +P2 +P3) x0 (P1+ P2+ P3)y =0 (P1 +P2 +P3)z =0 在x轴的正向出现负电荷，在y、z方向依然不出现电荷。;28;当晶体受到沿x(电轴)方向的力Fx作用时，在x方向产生正压电效应，而y、z方向不产生压电效应。 晶体受到y（即机械轴）方向的力Fy作用时，在x方向产生正压电效应，在y、z方向同样不产生压电效应。; 图6.2 晶体切片上电荷极性与受力方向的关系 X轴方向受压力；（b） X轴方向受拉力； （c） Y轴方向受压力；（d） Y轴方向受拉力 ;31;（1）晶体在某个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应。 （2）无论是正压电效应还是逆压电效应，其作用力与电荷之间呈线性关系。 （3）晶体具有各向异性特点，并不是在任何方向都存在压电效应。;在几百摄氏度的温度范围内，其介电常数和压电系数几乎不随温度而变化。但是当温度升高到573℃时，石英晶体将完全丧去压电特性，这就是它的居里点。 石英晶体的突出优点：性能非常稳定，它有很大的机械强度和稳定的机械性能。但石英材料价格昂贵，且压电系数比压电陶瓷低得多。因此一般仅用于标准仪器或要求较高的传感器中。 ;（二）压电陶瓷; 在压电陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强，就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。;36;常用的压电陶瓷材料： 非铅系列压电陶瓷（如钛酸钡BaTiO3）： 具有很高的介电常数和较大的压电系数（约为石英晶体的50倍）。但居里点温度低（120℃），温度稳定性和机械强度不如石英晶体。 锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT）： 压电系数更大，居里点温度在300℃以上，各项机电参数受温度影响小，时间稳定性好。是目前压电式传感器中应用最广泛的压电材料。;压电陶瓷外形; ; ;陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来，即在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内 的束缚电荷符号相反而 数量相等，它屏蔽和抵 消了陶瓷片内极化强度 对外界的作用。;;若在片上加一个与极化方向相同的电场，电场的作用使极化强度增大。陶瓷片内的正、负束缚电荷之间距离也增大，即陶瓷片沿极化方向产生伸长形变。同理，如果外加电场的方向与极化方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。这种 由于电效应而转变为机 械效应，或者由电能转 变为机械能的现象，就 是压电陶瓷的逆压电效应。;图5-12 压电陶瓷的变形方式;（三）高分子压电材料 ;其