基于纳米修饰石墨烯传感器阵列的多组分气体检测特性研究.pdfVIP

中文摘要 摘 要 电力变压器故障特征气体分析是变压器早期故障诊断方便且有效的手段之 一，气体传感器检测技术是分析技术的关键，气体传感阵列检测技术是混合气体 检测分析的方向。金属氧化物三氧化钨 （WO ）半导体气体传感器作为当前实验 3 室研究及商用的气敏检测元件之一，具有体积小，成本低，制备方便等优势，常 被用于混合故障特征气体的检测，然而其灵敏度、响应恢复时间、工作温度、交 叉敏感等不能满足应用的要求；石墨烯材料以其优异的电力学性能、大的比表面 积和极高的电子迁移率，为微量故障特征气体高效检测提供了新的思路和途径。 论文针对变压器故障主要特征气体(C H 、CO、H ），制备了还原氧化石墨烯 （rGO ） 2 2 2 纳米薄片，WO 纳米颗粒，1 wt% 、4 wt% WO -rGO 、Pt-WO -rGO 及 Pd-WO -rGO 3 3 3 3 六种气敏材料；通过自组装及喷涂工艺将气敏材料同经结构最优化设计的气体传 感器阵列，测试了气敏材料的气敏响应特性；基于电子耗尽层理论及微观表征对 金属及金属氧化物修饰石墨烯气敏材料的气敏响应机理进行了探究；结合深度置 信神经网络 （DBN ）模型，实现了待测气体组分及浓度的定性识别和定量估算。 论文的主要工作及取得结论有： ① 针对变压器故障主要特征气体乙炔(C H ) 、一氧化碳（CO ）和氢气（H ）， 2 2 2 选择了改进 Hummer 法、化学还原法、水热法、自组装法和热还原法制备了纯 rGO 、 纯 WO 、GO 占WO 质量百分比分别为 1wt%和 4wt% 、Pd-WO -rGO 、Pt-WO -rGO 3 3 3 3 的六类气敏材料，通过多种复合微观表征手段，证明了制备材料的良好形貌与成 功掺杂。 ② 通过 COMSOL 多物理场仿真软件的热场仿真模块，对插指型微热板进行 结构最优化设计，确定了最优化结构尺寸为 1.5×1.5 ×0.3 mm ，加热区域面积为 0.5 ×0.5 mm ，悬膜尺寸为 0.6 ×0.6 mm ，插指间距为 25 μm 的微热板结构，结合微 电子机械工艺 （MEMS ）与微电子加工工艺制得到 2 ×3 共六微热板结构单元的混 杂型气体传感检测阵列系统。 ③ 采用喷涂法和自组装法结合将制得的纯 rGO 、纯WO 、GO 占WO 质量百 3 3 分比分别为 1wt%和 4wt% 、Pd-WO -rGO 、Pt-WO -rGO 的六类含异质结复合型气 3 3 敏材料分别涂覆在制得的六结构单元的混杂型气体传感检测阵列上，基于实验室 微量气体测试平台，分别测试了六类气敏材料对乙炔(C H ) 、一氧化碳（CO ）和 2 2 氢气（H ）三种 目标气体的温度响应、气敏响应、最低检测极限、重复性、稳定 2 性和选择性。测试结果表明纯 rGO 对三种 目标气体均未呈现明显的气敏响应，纯 WO3 在工作温度为 300°C 时对三种目标气体较纯 rGO 有较好的气敏响应，经 GO I 重庆大学硕士学位论文 占WO 质量百分比分别为 1 wt%和4 wt%掺杂