FMCS监控系统施工技术规范.docVIP

技术规格书 章号： 13800 标题： FMCS监控系统 版次： 0 建设单位：深圳市华星光电技术有限公司 项目名称：第 11 代 TFT-LCD及 AMOLED新型显示器件生产线建设项目 编制人 审核 审定 批准人 二○一七年六月 技术规格书 第1部分 总则 1.1 说明 1.1.1 本章内容包括机电设备管理和控制系统 （FMCS）的基本结构和性能要求。 FMCS 控制基于智能的分布系统和独立控制器，控制器工作在多任务多用户环境，在 TCP/IP 工业以太网中，是真正的点对点工作方式。 FMCS 监控应是基于 PC 机的系统，应用通常的 SCADA/HMI 软件。另外，本地监 控可以由兼容的人机界面单元执行。对于整个完全运作系统的所有必要的软件、硬件、传感器、控制设备、执行器、安装和校准、监控、校正和微调，各个供应商应对相应部分负责。 本项目 FMCS 中每个控制系统需至少设计 20%的预留 I/O 容量。 1.1.2 本技术规格书应用于以下供应商的系统： 1.1.2.1 洁净室暖通空调（ MAU 、AHU 、 CAU 、 FFU、DCC） 1.1.2.2 一般暖通空调（ MAU 、AHU ） 1.1.2.3 一般排风（ GEX ） 1.1.2.4 废气处理系统（酸、碱、 VOC 、STRIPPER） 1.1.2.5 工艺冷却水系统（ PCW） 1.1.2.6 工艺真