第1章薄膜技术的真空技术基础.ppt

桂林电子科技大学 材料科学与工程学 1.5 各类真空泵简介 ? （ 2 ）罗茨（ Roots ）真空泵 a 、工作原理：两个 8 字形的转子以相 反的方向旋转，两个转子始终保持 相切合，咬合精度很高，切合处气 体始终不能通过，只能从上、下两 边被扫出真空系统。 b 、极限真空度： 10 -2 Pa 左右； c 、优点：结构简单、无油气回流，抽 速很大。 d 、缺点：泵体与转子发热、膨胀，造 成泵体损坏；当气体压力低于 10 -1 Pa 时，气体回流造成抽速降低。 e 、适用压力范围： 10 -1 ～ 1000Pa 。 桂林电子科技大学 材料科学与工程学 1.5 各类真空泵简介 ? （ 3 ）油扩散泵 a 、工作原理：将油加热至高温蒸发状态（约 2000C ），让油 蒸气呈多级状向下定向高速喷出时不断撞击气体分子，并 将部分动量传递给这些气体分子，使其被迫向排气口方向 运动，在压缩作用下排出泵体 。同时，被泵体冷却后的 油蒸气又会凝结起来返回泵的底部。 b 、极限真空度： 10 -6 Pa ； c 、优点：极限真空度高，抽速很大，根据口径大小，抽速 可以从每秒几升至每秒上万升不等。 d 、缺点：油蒸气回流，污染。 e 、使用油扩散泵之前，需要采用各种形式的机械泵将系统 预抽至 1Pa 左右。 f 、适用压力范围： 1 ～ 10 -6 Pa 桂林电子科技大学 材料科学与工程学 1.5 各类真空泵简介 油扩散泵的工作示意图 桂林电子科技大学 材料科学与工程学 1.5 各类真空泵简介 ? （ 4 ）涡轮分子泵 a 、工作原理：涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在 它以 20000 ～ 30000r/min 的高速旋转时，叶片将动量传给 气体分子，同时，涡轮分子泵中装有很多级叶片，上一级 叶片输送过来的气体分子又会受到下一级叶片的作用而被 进一步压缩至更下一级。 b 、极限真空度： 10 -8 Pa ； c 、优点：极限真空度高，压缩比高，油蒸气的回流可以忽 略，抽速可达 1000L/s 。 d 、缺点：价格较高。 e 、工作状态：在使用中多用旋片式机械泵作为其前级泵。 f 、适用压力范围： 1 ～ 10 -8 Pa 桂林电子科技大学 材料科学与工程学 1.5 各类真空泵简介 涡轮分子泵的原理及结构 桂林电子科技大学 材料科学与工程学 1.5 各类真空泵简介 ? （ 5 ）低温吸附泵 a 、工作原理：依靠气体分子会在低温下自发凝结或被其他 物质表面吸附的物理现象实现对气体分子的去除，进而获 得高真空。 b 、极限真空度： 10 -1 ～ 10 -8 Pa ，取决于所采用的低温温 度、吸附物质的表面积、被吸附气体的种类等因素； c 、优点：极限真空度高，可获得无油高真空；除 H 2 、 He 、 Ne 外，对各种气体抽速均很大。 d 、缺点：运转成本较高。 e 、工作状态：既可以只配以旋片泵等低真空泵种作为惟一 的高真空泵使用，又可以与其他高真空泵种，如涡轮分子 泵等联合使用，预真空度应达到 10 -1 以下，以减少吸附 泵的负荷并避免在泵体内积聚过厚的气体冷凝产物。 第一章 薄膜技术的真空技术基础 材料科学与工程学院 纳米光电材料实验室 朱归胜 桂林电子科技大学 材料科学与工程学院 内容提要 气体分子运动论的基本概念 1 真空获得的手段 2 真空度的测量 3 桂林电子科技大学 材料科学与工程学 引言 ? 问题 ? 1 、是不是所有薄膜制备方 法都需要在真空环境下？ ? 2 、为什么在薄膜制备的过 程中需要在真空环境？或者 说真空环境在薄膜制备过程 中的作用是什么？ 桂林电子科技大学 材料科学与工程学 引言 ? 问题 1 ： 薄膜技术与真空技术的关系 ? 薄膜材料的制备过程是 : ? atom by atom ? ? ? 几乎所有的现代薄膜材料都是在真空或是在较低的气体 压力下制备的。 ? 例外：比如 sol-gel 技术，丝网印刷技术 ? 问题 2: 真空在薄膜制备过程中的作用： ? （ 1 ）减少蒸发分子与残余气体分子的碰撞； ? （ 2 ）抑制它们之间的反应； 桂林电子科技大学 材料科学与工程学 引言 ? 薄膜的气相沉积一般需要三个基本条件： 热的气相源、 冷的基板和真空环境。 ? 在寒冷的冬天，窗玻璃上往往结霜；人们乍一进入温 暖的房间，眼镜片上会结露。不妨将上述“霜”和 “露”看作气相沉积的“膜”，则火炉上沸腾水壶中 冒出的蒸汽则是“热的气相源”，冰冷的窗玻璃和眼 镜片则是“冷的基板”。那么，为什么真空环境也是 薄膜气相沉积的必要条件呢？ ? 一般说来，工业上利用真空有下述几条理由：①化学 非活性；②热导低；③与气体分子之间的碰撞少；④ 压力低。通过本章的学习，可以了解真空环境对于薄 膜气相沉积的必