石英坩埚相关知识介绍.ppt

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石英坩埚相关知识介绍 报告人 0AM 石英坩埚的简介 石英坩埚的制造、结构 常见问题 a涂层坩埚 客户关注问题 石英坩埚的使用 单晶圆坩埚 单晶硅棒 单晶硅太阳能电池 太阳能级多 阳能电池组件太阳能发电 晶硅材料 (系统集成) 多晶硅 多昌硅太阳能电池 多晶方坩埚 石英坩埚的作用 晶体的转及升降系统 石英坩埚的作用:在高 村品轴 上炉腔及炉门定部分 温下盛装硅液,并防止 籽品夹指装置 炉控到的隔离阀 其他杂质进入硅液。 光学传器 SiO2+Si-2SiO(气) 上炉签 石英坩埚 坩端的石墨托 下炉直 真空电弧石英坩埚制造原理 生产原理 将高纯石英粉装入可任意倾动角度的旋转 成型模内,利用离心力成型,将已成坩埚形的 旋转着的装置移动至电极棒处,然后将电极送 电启弧,同时启动真空系统,使其快速熔化成 坩埚形状的熔融石英,经冷却后取出,即完成 个石英坩埚的熔融。 熔融 冷却 冷却后 石英坩埚的结构 真空透明层 涂层 不透明层 不透明层:内部含有大量气泡 受热均匀,保温效果好 坩埚 透明层:均匀致密、表面光滑 增强坩埚的强度(抗变形 降低内表面的温度(防失透) 真空透明层 魔 不透明层

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