薄膜材料制备的方法.ppt

固体薄膜材料的制备 宦术 真空及真空的常用单位 真空的分类 真空泵 真空的测量 2018/1/ 真空及其单位 真空是指低于一个大气压的气体空间。常 用“真空度”度量。真空度越高,压强越 常用计量单位:Pa,Torr,mmHg,bar, atm.。关系如下 1mmHg=133322Pa, 1 Torr=atm/760=133.322Pa-1mmHg 1 bar=105Pa 2018/1/ ●粗真空:1×105~1×10Pa目的获得压 力差。电容器生产中的真空侵渍工艺 ●低真空:1×102~1×10-Pa真空热处理 ●高真空:1×10-1~1×10-Pa真空蒸发。 ●超高真空:1×10°Pa 得到纯净的气 体;获得纯净的固体表面 2018/1/ 真空系统的组成 典型的真空系统包括: 真空室(待抽空的容器) 真空泵(获得真空的设备) 真空计(测量真空的器具) 必要的管道、阀门和其他附属设备 2018/1/ 真空泵 获得真空的设备。至今还没有一种泵能直接从大 直工作到超高真空。因此,通常是将几种真 空泵组合使用 前级泵:能使压力从1个大气压开始变小,进行排 气的泵 次级泵:只能从较低压力抽到更低压力的真空泵。 如机械泵+扩散泵系统,为有油系统;吸附泵+溅 射离子泵+钛升华泵系统,为无油系统。 2018/1/ 主要真空泵的排气原理与范围 工作E陨范围 类 +rL.+ 13(Pa 机油料翠(级 利用积械力压缩 械 油封机械泵(双级)和排气体 次泵 萎!水银扩救 华蒸气喷射的动藍 油扩散泵 把气体带 数粟 阀射离子泵 利用溅射或升华形 干|钛升华泵 成哎气,吸附排除气 体 吸附泵 利用低流表面对气 |冷凝 体进行物理吸附排 羚凝亚附泵 酴气体 热偶真空计:利用低压强下气体的热传导 与压强有关的原理制成的真空计。典型的 有热阻真空计和热偶真空计两种。 电离真空计:目前测量高真空的主要设备 2018/1/ 薄膜的制备方法,含 真空技术基础; PVD(真空蒸发、溅射、离子镀膜) CVD 溶液镀膜法 典型的薄膜材料的制备 金刚石薄膜 znO薄膜 2018/1/