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光致抗蚀剂 [ 应用 ] 光致抗蚀剂 . 光致抗蚀剂分类及其机理 光致抗蚀剂 （简称光刻胶或抗蚀剂 ）是一种用于光加工工艺中对加工材料表面起 临时选择 则性保护的涂料，是现代加工工业的重要功能材料之一。 光致抗蚀剂分为 两大类:? 正性光致抗蚀剂 :受光照部分发生降解反应而能为显影液所溶解，留下的 非曝光部分的图形与掩模版一致。正性抗蚀剂具有分辨率高、对驻波效应不敏感、 曝光容限大、针孔密度低和无毒性等优点，适合于高集成度器件的生产。它主要包 ? 负性括: ? 负性 光致抗蚀剂 : 受光照部分产生交链反应而成为不溶物，非曝光部分被显影液溶解， 获得的图形与掩模版图形互补。负性抗蚀剂的附着力