液体静压导轨静动态特性研究.pdf

目录 目录 摘 要I Abstract III 1 绪论1 1.1 课题来源及研究的背景意义1 1.2 液体静压支撑国内外研究现状2 1.3 本文主要研究内容7 2 液体静压导轨设计9 2.1 液体静压导轨概述9 2.1.1 液体静压导轨的特点及对导轨的基本要求9 2.1.2 液体静压导轨的分类9 2.1.3 节流器的选择11 2.2 矩型油垫的流量及等效承载面积计算13 2.2.1 矩型油垫的流量计算13 2.2.2 矩型油垫的等效承载面积计算16 2.3 液体静压导轨结构设计17 2.3.1 液体静压导轨的总体结构17 2.3.2 液体静压导轨的设计计算18 2.4 液体静压导轨静态特性分析21 2.4.1 液体静压导轨承载特性分析21 2.4.2 液体静压导轨刚度特性分析23 2.4.3 液体静压导轨静刚度实验24 2.5 本章小结26 3 液体静压导轨静态特性仿真分析27 3.1 流体动力学控制方程27 3.1.1 质量守恒定律27 3.1.2 动量守恒定律27 3.1.3 能量守恒定律27 3.2 导轨内部流场数学模型28 3.2.1 液体静压导轨流场控制方程28 3.2.2 单油垫静态特性理论分析29 3.3 单油垫流场仿真分析30 3.3.1 油垫流场模型建立及数值求解环境设置30 V 西安理工大学工程硕士专业学位论文 3.3.2 油垫流场分布规律分析31 3.4 油垫承载特性分析33 3.4.1 供油压力对油垫承载特性影响分析33 3.4.2 油垫厚度对油垫承载特性影响分析35 3.4.3 封油边宽度对油垫承载特性影响分析36 3.4.4 油腔形状对油垫承载特性影响分析37 3.4.5 导轨运行速度对油垫承载特性影响分析38 3.5 本章小结40 4 液体静压导轨动态特性研究41 4.1 液体静压导轨的动力学建模41 4.2 设计参数对液体静压导轨动态特性参数的影响44 4.3 液体静压导轨动态特性仿真与分析47 4.4 阶跃载荷下系统响应实验55 4.4.1 实验目的与原理55 4.4.2 实验步骤56 4.4.3 实验结果56 4.5 本章小结57 5 总结与展望59 5.1 总结59 5.2 展望60 致 谢61 参考文献63 VI 第1 章 绪论 1 绪论 1.1 课题来源及研究的背景意义 本课题来源于国家自然科学基金“新型磁流变阻尼式静压导轨及其高效精密 控制策略研究”，项目编。 在国防建设与国民经济发展中，超精密加工技术发挥着不可替代的作用。作 为现代高技术战争与基础科学技术发展的重要保障，超精密加工技术在航空航天、 军事工业、新能源、精密仪器等众多高新技术领域始终发挥着巨大作用，它与 “载 人航天与探月工程”、“高档数控机床与基础制造装备”等多个重大专项密切相关， 是若干国家级重大科技专项实施的技术基础。科技是第一生产力，超精密加工技 [1] 术的提高有利于国家科技水平的飞速发展 。 超精密加工技术的研究重点主要包括超精密硬件技术研究、超精密数控软件 技术开发、超精密工艺技术研究。其中，硬件技术作为超精密加工技术的基础， [2] 吸引了众多的学者研究 。硬件技术研究