激光器械与维护 光学平台的技术指标 光学平台的技术指标.ppt

光机电应用技术国家教学资源库 光学平台的技术指标 教学目标 掌握光学平台的技术指标 教学内容 光学平台的技术指标 光学平台是一种隔除振动的工作平面，它利用自身的隔振效果和固有频率等特点，能有效避开环境振动所产生的共振现象，控制振幅放大，减少振动传递率，消除环境振动对操作精度的影响，广泛应用于光学测试、激光扫描、激光干涉和光学制造等科研和教学领域中，适用于全息技术、光谱实验技术、精密检测技术、现代光学、激光技术、集成电子学、医疗生物及光纤等工程领域。 优质的光学平台不仅需要高精度的机器设备来加工，更需要有高科技精度的检测手段与检测仪器来保证，也只有优质的光学平台才能保证高精度的科学实验、科学研究的正常进行。 光学平台的技术指标 1、光学平台外观：光学平台外观应美观，各部位都应无影响安全的锐角及锐边，更重要的是检查孔口倒角是否均匀一致（螺孔旋入后应垂直平台面），四边及其倒角是否平直一致。如果台面未经过机械加工而是人工打磨出来的孔口倒角是大小不一致的，沿台面四周边用目测即可看出台面倒角处是弯曲的。 2、光学平台固有频率（≤2Hz） ：固有频率也称自然频率、自振频率，只有在环境扰动力频率与光学平台的固有频率的比值为 时系统才有隔振作用。所以光学平台的固有频率越低，隔振效果效果就越好。该指标的检测一般采用振动频谱分析仪及便携式振动分析仪来进行多点测量，如供应商不具备仪器测量（当然这是很不正常的），您也可用以下方法：用手用力压下（或侧推）平台，然后迅速松开，让其大幅度上下振动（或左右、前后摆动）起来，如一秒钟内往复一次即为1Hz，二次即为2Hz，依此类推。须可粗略测得光学平台的固有频率。 光学平台的技术指标 3、光学平台平面度（≤0.05 ㎜/㎡）：该指标越小即表明台面越平整，调整光路就越容易。一般出厂要求平面度小于 0.05 ㎜/㎡，检测方法一般有：光电自准直仪法、光学平面度检查仪检测法、水平仪检测法、激光平面度检测仪等等。对安装在实验室的光学平台平面度一般采用光电直准仪和光学平直度检查仪检测，经计算后得出。这些仪器也是生产厂商应必须配置的。 光学平台的技术指标 4、光学平台表面密迪纹理及粗糙度（Ra≤0.8μm）：该指标的意义在于保证光学平台有一个光滑但无反射的工作表面。良好的表面粗糙度有利对实验仪器的保护，产品出厂要求一般在 Ra≤0.8μm 以下，粗糙度完成可采用对比样板目测和粗糙度仪检测，如果是现场检测可采用粗糙度仪完成。该仪器具有便携、可直读数据、精度高等优点。 光学平台的技术指标 5、光学平台重复定位精度（±0.10 ㎜）：该指标意义在于保证工作台面在动态条件下的水平，以方便使用者高速光路，检测方法是将百分表（精度 0.02 ㎜）固定在稳固的物体上，表头顶住台面，然后在工作台面上反复加载或卸载，待稳定后读数在范围正负 0.10 ㎜以内即为合格。 光学平台的技术指标 6、光学平台工作台面的振幅（So≤2μm）：在正常的使用环境下，为了保证仪器的使用精度，光学平台必须提供尽可能低的振幅。同时也可通过台面和地面振幅指标的对比，反映系统的隔振性能。如平台振幅小于地面振幅，则平台是隔振的，反之则是不隔振或振动放大的。振幅指标的检测，类同固有频率检测。 光学平台的技术指标 光学平台的技术指标 课程小结 本次课主要介绍了光学平台的六大技术指标。 作业布置 1、光学平台有何特点？ 2、简述光学平台的重要性。 3、光学平台的性能指标有哪些？