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无掩膜光刻技术激光无掩膜光刻技术又称激光直接成像技术是直接利用图形工作站输出的数据驱动激光成像装置在涂覆有光致抗蚀剂的基材上进行图形成像的技术可以实现不使用掩膜板因此不仅可以降低成本同时可以减少流程节约制程时间在传统印制电路板生产中大约需要分钟分钟个工序的制程使用支撑可以节约到分钟个工序但是由于存在生产效率激光束准确度准确度验证和检查与现有成熟工艺兼容重合误差等问题在使用范围上仍受到一定限制目前主要应用在领域在平板显示半导体制程中仍然难以进入量产阶段不同的设备差别较大主要看最小线宽和最大基材面积
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无掩膜光刻技术
激光无掩膜光刻技术，又称激光直接成像技术（ LDI,Laser Direct Imaging ）, 是直接利用图形工作站输出的数据，驱动激光 成像装置，在涂覆有光致抗蚀剂的基材上进行图形成像的技术。
LDI 可以实现不使用掩膜板，因此不仅可以降低成本，同时 可以减少流程，节约制程时间。在传统印制电路板（ PCB ）生产 中大约需要 250 分钟-300 分钟，9 个工序的制程，使用 LDI 支 撑可以节约到 5 分钟，3 个工序。但是由于存在生产效率，激光 束准确度，准确度验证和检查，与现有成熟工艺兼容，重合误差 等问题，在使用范围上仍
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