铸锭炉长晶加时剖析.pptVIP

铸锭炉长晶加时分析  原因分析 随着铸锭炉使用年限的加长,各零部件会 相继出现老化,与之对应的功能也随之退 化(或部件更换时安装不到位),都会表 现出一定的症状。铸锭炉在运行过程中, 加热系统都是通过TC1监测温度后所反馈的 信息调节功率大小进行控温,如果TC1出现 问题,则会影响加热系统的控温准确性。  加时的危害性 硅锭在整个晶体生长过程中,炉温都高于 1400℃。在此高温下,硅锭停留的时间越 长,杂质扩散到硅锭的几率就越大,而且 液态下会增加硅锭粘埚风险。另外能耗也 会相应的增加;铸锭周期的延长,会使设 备使用率降低。所以整个长晶时长尽量控 制在工艺要求时间内  分析过程 同种炉子、同样工艺下长晶出现加时现象, 原因可能有以下两种: 原辅料发生变化装料量有改变、 坩埚的厚度和导热系数(坩埚厂家)有变 化 炉温比工艺设定温度高。 第一种原因在统计过程中已经排除,所 接下来只对第二种原因进行分析  分析过程 加时≥3h的炉子以及对应的规定编号 炉子」硅锭编号PT|熔化余G6加时「是否功「装料量坩埚厂 余时时 率报警 23#1-110823-0 2:05 4:40 是440KG华融 24#1-110824011:554.02 是440KG华融 31#1-110881011:44417 否440KG华融 45#2-110845011:5040385h是440KG华融 54#2110854022:023:41 440KG华融 55#2110855011:484:26 是440KG华融 平均 1:544:1 5.4h 440KG华融  分析过程 未出现加时的炉子以及对应的规定编号 炉子硅锭编号P→T余熔化余G6余时是否功装料量坩埚厂 率报警 家 22#1-110822032512021:45 否440KG华融 28#1-110828022332:23 1:44 否440KG华融 34#1-110834-012:392:37 2:16 440KG华融 27#210022524054否40KG华法 36#2108601234235124 否440KG华融 39#2-110839-022:201:500:39 否440KG华融 平均 2:34 2:22 :27 否 440KG华融  分析过程 ·从两个表格数据的对比可知: 未加时的炉子与加时的炉子使用的是同 一种工艺(GT老工艺);装料量相同;坩埚厂 家相同。但未加时的炉子P→T余时比加时的 炉子多40mins,熔化余时少1:57,而且加时 炉子基本上都出现最大功率报警。 由此,可大胆的推断:出现加时的炉子 控温不准确,即实际炉温高于TC1监测温度。  分析过程 ·加时炉子P→T余时少 P→T工艺控制温度为1175℃。假设加时 炉子实际炉温比TC1监测温度高10℃,则 P→T时实际炉温已达1185℃。在同样大小的 功率输出下,炉子从室温升到1185℃肯定比 从室温升到1175℃所用的时间长,这就是加 时炉子P汗T余时少的原因。 加时炉子熔化余时多  分析过程 同样的料、同样的坩埚,熔化温度越 高,熔化所需时间则越短 ·G6加时 物质由液体转变为固体时,温度越高, 凝固(生长)越慢 最大功率报警 最大功率报警一般都出现在M7(M6 有时也会出现,M6升温速率:3h内温度从  分析过程 1200→1500),M7升温速率:2h内温度 从1500→1550 同样假设加时炉子的实际炉温比TC1监 测温度高10℃,则加时炉子M7的实际升温 是从1510→1560,虽然升温速率不变,但 是我们知道温度越高,升温就越困难,所 需的功率就越大,很可能就会出现最大功 率报警。