高纯四氯化硅供应系统在光纤预制棒生产中的应用李东升.pdfVIP

高纯四氯化硅供应系统在光纤预制棒生产中的应用 李东升，龚小雷 (上海正帆科技有限公司，上 201108) [摘 要] 高纯四氯化硅是光纤预制棒生产的重要原料。其输送系统的稳定 性直接影响到预制棒的质量。本文从系统设计的角度，论述了如何将高纯四氯化 硅液体安全、精确和稳定地供应到蒸发器内。同时也介绍四氯化硅经加热蒸发， 将蒸汽输送到沉积炉内参与气相沉积反应的工艺控制要点。 [关键词] 光纤预制棒；精密输送；气相沉积 Application of High Purity SiCl Supply System for 4 Optical Fiber Preform Tube Fabrication LI Dong-sheng, GONG Xiao-lei （Shanghai GenTech Co.，Ltd.，Sha