《材料研究与测试方法》第2章第5节电子探针X射线显.ppt

电子探针X射线显微分析的基本原理： 分光晶体 常用分光晶体的基本参数及可检测的波长范围 能谱仪 BaTiO3波谱和能谱比较 波谱仪和能谱仪的比较1 波谱仪和能谱仪的比较2 电子探针分析方法及应用 * 第五节 电子探针X射线显微分析 电子探针仪 电子探针仪的组成示意图 一般的化学分析方法仅能得到试样的平均成分，电子探针X射线显微分析（EPMA）是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析，它特别适用于分析试样中微小区域的化学成分。 用聚焦电子束（电子探针）照射在试样表面待测的微小区域上，激发试样中诸元素的不同波长（或能量）的特征X射线。用X射线谱仪探测这些X射线，得到X射线谱。根据特征X射线的波长（或能量）进行元素定性分析；根据特征X射线的强度进行元素的定量分析。 常见的X射线谱仪有两种： 波谱仪（WDS）：利用特征X射线的波长不同展谱，以实现对不同波长X射线分别检测。 能谱仪（EDS）：利用特征X射线能量不同来展谱。 波谱仪的结构与工作原理 回转式波谱仪 聚焦圆（或称罗兰圆）的中心O固定，分光晶体和检测器在圆周上以1：2的角速度运动来满足布喇格衍射条件。 回转式波谱仪结构简单，但由于分光晶体转动而使X射线出射方向变化很大，在样品表面不平度较大的情况下，由于X射线在样品内进行的路线不同，往往会造成分析上的较大误差。 回转式波谱仪工作原理示意图 全聚焦直进式波谱仪 在实际操作时，分光晶体沿AB直线移动，并自转，以始终与聚焦圆相切；X射线探测器则按四叶玫瑰线轨迹移动，以使辐射源、分光晶体、探测器处于同一聚焦圆上，并保持辐射源至分光晶体的距离AB和探测器至分光晶体的距离CB相等。 全聚焦原理图 各种晶体能够色散的X射线的波长范围决定于衍射晶面间距d和布喇格角θ的可变范围，对于波长大于2d的X射线则不能进行色散。谱仪的θ角有一定的变动范围（如15o~65o）；每一种晶体的衍射晶面是固定的，因此它只能色散一段范围波长的X射线和适用于一定原子序数范围的元素分析。 为了使分析时尽可能覆盖分析的所有元素，需使用多种分光晶体。电子探针仪常配有几道谱仪，每道谱仪装有两块可供选择的不同晶体，以便能同时检测分析更多的元素。 目前电子探针仪能分析的元素范围是原子序数为4的Be到原子序数为92的U。 K系：Be——N L系：Ca——Sc 2.9 ~11.4 6.5 / 二十四烷酸铅 K系：B——O L系：Ca——V 2.2 ~8.8 5 / 硬脂酸铅 K系：B——F L系：Ca——Mn 1.76 ~4 4 / 肉豆蔻酸铅 K系：F——P L系：Cr——Zr M系：La——Au 0.58 ~2.3 1.306 （1.332） 邻苯二甲酸氢铷（或钾） K系：Si——Fe L系：Rb——Tb M系：Hf——U 0.2 ~0.77 0.4375 022 异戊四醇 K系：Ca——Rb L系：Sb——U 0.089~0.35 0.2013 200 氟化锂 可检测元素范围 可检测波长范围（nm） 晶面间距d （nm） 反射 晶面 晶体 能谱仪使用的是锂漂移硅Si（Li）探测器。由试样出射的具有各种能量的X光子相继经Be窗射入Si（Li）内，产生电子-空穴对。每产生一对电子-空穴要消耗X光子3.8eV能量。因此每一个能量为E的入射光子产生的电子-空穴对数目为N=E/3.8 。加在Si（Li）上的偏压将电子-空穴收集起来，每入射一个X光子，探测器输出一个微小的电荷脉冲，其高度正比于入射的X光子能量E 。 对应于探测器接受的X光子（a）的能谱图（b） 与分辨率有关，使在全谱范围得到最佳分辨时，2000cps ~50000cps （在一条谱线上） 最大计数速率 全部有用能量范围 谱仪能分辨的范围 瞬时接收范围 ~100% （2.5~15keV） 改变，30% 量子效率 2% 改变，0.2% 几何收集效率 与能量有关，145~155eV 与分光晶体有关，~5eV 分辨率 Z =11 （Be窗） Z =6 （无窗） Z=4 分析元素范围 能谱仪（EDS） 波谱仪（WDS） 操作特性 0.1~0.5% 0.01~0.1% 探测极限（%） ~5nm ~200nm 最小束斑直径 主要包括：逃逸峰、峰重叠、脉冲堆积、电子束散射、铍窗吸收效应等。 少 谱失真 2~3 10min 典型数据收集时间 较粗糙表面也适用 平整，光滑 对表面要求 =±5% ±1~5% 分析精度 （浓度10%, Z10) 能谱仪（EDS） 波谱仪（WDS） 操作特性 电子探针分析有四种基本的分