团体标准-电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法-送审稿.docVIP

ICS? FORMTEXT ????? FORMTEXT 点击此处添加中国标准文献分类号 FORMTEXT ????? T/ FORMTEXT CNIA FORMTEXT 中国有色金属工业协会团体标准 T/ FORMTEXT ××× FORMTEXT ××××— FORMTEXT ×××× FORMTEXT ????? FORMTEXT 电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 FORMTEXT Determination of trace impurity elements content in high purity hydrofluoric acid for electronic industry—Inductively coupled plasma mass spectrometry FORMTEXT 点击此处添加与国际标准一致性程度的标识 FORMDROPDOWN FORMTEXT （本稿完成日期：2020-10） FORMTEXT ×××× - FORMTEXT ×× - FORMTEXT ××发布 FORMTEXT ×××× - FORMTEXT ×× - FORMTEXT ××实施 FORMTEXT 中国有色金属工业协会 中国有色金属学会 发布 T/××× ××××—×××× PAGE 1 前??言 本标准按照GB/T1.1-2020给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。 本标准负责起草单位：青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司，XXXXX。 本标准主要起草人：xxxxx。 本标准系首次发布。 电子工业用高纯硝酸中痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 范围 本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定高纯氢氟酸中杂质元素（铝、锑、砷、钡、硼、镉、钙、铬、铜、铁、铅、锂、镁、锰、镍、钾、钠、锡、钛、钒、锌）的方法。 本文件适用于电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定。测定范围见表1。 表1 测定范围 元素 含量/μg/kg 元素 含量/μg/kg 元素 含量/μg/kg 铝 0.01~10.0 铬 0.01~10.0 镍 0.01~10.0 锑 0.01~10.0 铜 0.01~10.0 钾 0.01~10.0 砷 0.01~10.0 铁 0.01~10.0 钠 0.01~10.0 钡 0.01~10.0 铅 0.01~10.0 锡 0.01~10.0 硼 0.01~10.0 锂 0.01~5.0 钛 0.01~10.0 镉 0.01~10.0 镁 0.01~10.0 钒 0.01~10.0 钙 0.01~10.0 锰 0.01~10.0 锌 0.01~10.0 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 6379.2 测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第2部分:确定标准测量方法重复性与再现性的基本方法 GB/T33087-2016 仪器分析用高纯水规格及试验方法 GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分 空气洁净度等级 标准工作曲线法（各杂质元素含量大于0.1μg/kg） 方法原理 取适量的电子级氢氟酸样品至清洗干净的容器内，加入超纯水定容至一定的体积，在电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）上，试样通过进样系统被送进高温等离子体源中，被蒸发、离解、原子化和电离，绝大部分金属离子成为单价离子，这些离子通过双锥接口进入离子透镜，在电场作用下聚焦成离子束并进入四级杆离子分离系统。金属离子根据质荷比不同依次分开，最后由检测器检测，根据各金属离子强度的不同，从标准曲线上测出各金属杂质的含量。 测试环境 3.2.1 温度：21±4℃。 3.2.2 相对湿度：不高于65%。 3.2.3 洁净度：样品、标准溶液配制和测试区域洁净度应不低于GB/T 25915.1-2010中定义的ISO 5级的要求。 试剂 3.3.1 纯水：符合GB/T33087-2016规定的仪器分析用高纯水。 3.3.2 多元素混合标准溶液：采用国内外可以量值溯源的有证标准样品，其质量浓度为10μg/mL。 3.3.3 10%(V/V)氢氟酸：取50mL高纯氢氟酸（杂质元素含量小于10ng/L）到洗净的500mL PFA材质的细口瓶中，用纯水（3.3.1）稀释到500mL，冷却至室温，混匀。 3.3.4 高纯氩气：纯度不低于99.