无尘室完整介绍 Cleaning room.pptVIP

無塵室的空調設計 F 潔淨室空調特性： 潔淨室的空調除了必須滿足產品需求的溫濕度條件外，對工作者的舒適度和空氣潔淨 度等度均必須顧慮到，其他如能源消耗、防震及噪音控制也是考慮因素。 潔淨室的潔淨度的能否維持在要求之規範內，空調系統扮演了主要的角色，因而潔淨 室的空調系統有著與一般空調系統的不同特徵，分述如下： 1. 溫濕度要求比一般空調低：一般空調系統溫度要求在25°~ 27℃間，相對濕度則在 55~77% ；而潔淨室空調分別為22~23℃及 40~45% ， 50~60% 。 2. 對空氣品質要求較嚴格：一般空調除了溫濕度要求是比潔淨室空調較彈性外，在微 塵粒子之過濾和 Na 離子之處理，潔淨室空調均必須加以考慮要求。 3. 恆溫恆濕控制：由於製程產品製程對溫，濕度變化的大小極為敏感，故在潔淨室空 調中部份區域須控制在±0.1℃和 1~2%RH 的範圍內。 4. 全外氣量與換氣次數大：在半導體工廠中，製程系統須使用大量的化學品和毒氣， 而這些化學品與氣體所產生的些揮發氣和廢氣必須予全數排除，故其排氣量相當大 ，尤其是在化學工作站更甚，加上為維持空氣之品質和安全，故半導體潔淨室空調 系統一般均不回風，而全以外界新鮮空氣補 R 入系統中，故換氣次數相對增加，方能 符合溫，濕度及潔淨度等級的需求。 5. 空調系統 24 小時全天候運轉：半導體工廠，部份製程設備其對溫，濕度的要求相當 敏