干涉仪原理与使用.pdfVIP

第一章：为何使用干涉仪做检测 1-1 干涉度量学 第一章 为什么要使用干涉仪检测首先我们要先了解，什么是干涉度量学？ 所谓干涉度量学是指 利用光干涉的效应来量测特定物理量的方法, 也就是说藉由观察干涉条纹的变化, 来量测出待 测物的特征 1-2 何谓干涉仪 干涉仪是什么? 一般来说, 只要是利用光干涉的原理来量测的仪器便可以称为干涉仪, 但是干 涉仪的种类众多且多变化, 因此本课程中将针对最为外界常用之种类作介绍 1 1-3 干涉仪之优缺点 干涉仪的优点及缺点 第一 高精度 以光学组件来说, 因为组件的微小变化均会严重改变原有的光学质量，因此必须要有非常精确的 量测仪器, 干涉仪具有精度非常高的优点, 最高可达1/100 的波长甚至到1/1000 的波长, 波长是 2 指干涉仪中使用光源的波长值.举例来说：一般干涉仪的波长为632.8( nm ),而 632.8 的百分之 一约为6 个(nm) , 目前的奈米科技是在这个尺度, 甚至有些更好的干涉仪可以到0.6 个(nm ),从 此可以看出干涉仪的精度有多好了 第二章：非球面玻璃模造的原理 第二. 非接触式量测