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京东方.速度品质
BOE Team, Speed, Quality
曝光机要素技术
报告者:沐俊应
日期:2010.01.28
Challenge with Full heart
内容
BOE HE Color Filter
曝光过程简介
曝光 Recipe详细项目
·曝光工艺要素
Challenge with Full heart
曝光过程简介
BOE HE Color Filter
◆曝光 Cycle
Loader
洗净机|→ Cont
曝光机
显影机 Post bake
曝光 Cycle
LD PA
Gap
进入调整Agn哪光
Stage ULD
Challenge with Full heart
3
曝光过程简介
BOE HE Color Filter
◆PA过程
Bar Mirror
avIne
I∞
偏差量
先在CP( Cooling Plate)上进行PA( Pre-alignmen
偏差量·再用精密 Robot将基板转移到曝光 stage上
cP stage上有CP/异物感知 Sensor(Scan)PA三个功能
偏差量
Challenge with Full heart
曝光过程简介
BOE HE Color Filter
◆Gap控制
CCD出力
sss基板上面反射光
Photo Mask下面反射光
Photo Mas
Gap检出开始位置: glass与mask之间的
7001m
Gap控制后,误差范围:10m以内
露光Gap:100-300um
Challenge with Full heart
曝光过程简介
BOE HE Color Filter
◆曝光Area控制
lutter挖制露
Aperture X
遮光Area
hutter减小Gra
Aperture Y1
Border shutter
AREA shutter
ass
露光Area
Aperture X2
Gray zone形成
Challenge with Full heart
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