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靶材技术成熟度等级划分及定义 靶材技术成熟度等级划分及定义 编制说明 编制说明 （ 论稿） （ 论稿） 标准编制组 标准编制组 二〇一七年十月 二〇一七年十月 靶材技术成熟度等级划分及定义编制说明 靶材技术成熟度等级划分及定义编制说明 1  1  工作简况 工作简况 1.1 1.1 任务来源 任务来源 集成电路、平面显示和各种电子元器件等电子制造业是信息产业的硬件基础，其技术和 集成电路、平面显示和各种电子元器件等电子制造业是信息产业的硬件基础，其技术和 产业水平是衡量国家信息技术竞争力的重要标志之一。近年来，随着我国电子信息产业飞速 产业水平是衡量国家信息技术竞争力的重要标志之一。近年来，随着我国电子信息产业飞速 TFT-LCD 发展，电子元器件、集成电路制造、TFT-LCD 平面显示、磁记录以及薄膜光伏太阳能等生 发展，电子元器件、集成电路制造、 平面显示、磁记录以及薄膜光伏太阳能等生 产线均有大量高技术企业出现；高纯溅射靶材是这些高科技行业镀膜用关键配套材料之一。 产线均有大量高技术企业出现；高纯溅射靶材是这些高科技行业镀膜用关键配套材料之一。 溅射靶材市场规模 日益扩大，已蓬勃发展成为一个专业化新材料产业，我国成为了世界上高 溅射靶材市场规模 日益扩大，已蓬勃发展成为一个专业化新材料产业，我国成为了世界上高 纯溅射靶材的最大需求地区之一，这也为中国靶材制造业的发展提供了机遇和挑战。 纯溅射靶材的最大需求地区之一，这也为中国靶材制造业的发展提供了机遇和挑战。 我国政府高度重视电子制造业新材料产业的发展，在 《“十三五”国家战略性新兴产业 我国政府高度重视电子制造业新材料产业的发展，在 《“十三五”国家战略性新兴产业 2025 发展规划》、 《中国制造 2025》和 《新材料产业发展指南》等国家层面的相关规划中都将 发展规划》、 《中国制造 》和 《新材料产业发展指南》等国家层面的相关规划中都将 “高纯金属及合金等新材料”，作为重点领域急需突破的材料。但迄今为止，中国在电子元 “高纯金属及合金等新材料”，作为重点领域急需突破的材料。但迄今为止，中国在电子元 器件、集成电路和平面显示等高端领域应用的溅射靶材缺乏系统深入研究，各类靶材产品的 器件、集成电路和平面显示等高端领域应用的溅射靶材缺乏系统深入研究，各类靶材产品的 质量参差不齐，靶材技术成熟度指标等级缺乏统一标准，严重制约了国内外靶材用户对靶材 质量参差不齐，靶材技术成熟度指标等级缺乏统一标准，严重制约了国内外靶材用户对靶材 制造商的产品实力，技术成熟度的评判。 制造商的产品实力，技术成熟度的评判。 技术成熟度反映的是技术对于项 目预期 目标的满足程度。技术成熟度评价是为了适应新 技术成熟度反映的是技术对于项 目预期 目标的满足程度。技术成熟度评价是为了适应新 技术发展而产生的一项管理工具，是基于技术发展成熟的客观规律，对其成熟程度进行量化 技术发展而产生的一项管理工具，是基于技术发展成熟的客观规律，对其成熟程度进行量化 评价的一套系统化标准、方法和程序。“建立新材料技术成熟度评价体系，制定新材料技术 评价的一套系统化标准、方法和程序。“建立新材料技术成熟度评价体系，制定新材料技术 成熟度通用分级标准，完善行业管理”是工业与信息化部、发展与改革委、科技部、财政部 成熟度通用分级标准，完善行业管理”是工业与信息化部、发展与改革委、科技部、财政部 四部委联发的 《关于加快新材料产业创新发展的指导意见》和 《新材料产业发展规划 四部委联发的 《关于加快新材料产业创新发展的指导意见》和 《新材料产业发展规划 2