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台阶仪操作规程 精品文档 精品文档 收集于网络，如有侵权请联系管理员删除 收集于网络，如有侵权请联系管理员删除 台阶仪标准操作规程 3.2.1.2.脑完全启动后一』「开台阶仪电源。将待探针的正下方。在台阶仪平台上，尽量保证在双击桌面的图标，开启测试软件，此时测试平台自动调整。 3.2.1.2. 脑完全启动后一』 「开台阶仪电源。将待 探针的正下方。 在台阶仪平台上，尽量保证在 双击桌面的 图标，开启测试软件，此时测试平台自动调整。 1.0目的 为了确保使用人员对机器和设备进行正确操作，并作为初学者的学习指引，特制订此操作规范。 2.0职责 2.1工艺部门对产品制定检查标准 2.2 对新进入操作员工进行培训和技能指导 2.3 按照标准对产品进行检查 3.0文件内容 3.1台阶仪 台阶仪电 源开关 焦距调节旋钮 平台微调旋钮 平台倾斜调节 321.3.打开软件后单击工具栏的图标，探针缓缓下降，注意此过程中要随时调节测试平台的位置，保证探针落在样品上。探针在正常接触样品后会自动抬起，调节焦距旋钮，使屏幕中心的图像最清楚。3214 上述操作就绪后，单击工具栏 图标，新建一个文件。在转换后的界面中单击“ Data File ”在弹出的对话框scan data项中设定好文件的存储位置。321.5. 然后单击工具栏中的图标 E3 进入到参数设置界面，在Scan Parameters ”中单击任意一个链接，弹出对话框，在Length ”中输入扫描距离，“ 321.3. 打开软件后单击工具栏的 图标，探针缓缓下降，注意此过程中要随时调节测试平台的位 置，保证探针落在样品上。探针在正常接触样品后会自动抬起，调节焦距旋钮，使屏幕中心的图 像最清楚。 3214 上述操作就绪后，单击工具栏 图标，新建一个文件。在转换后的界面中单击“ Data File ”在 弹出的对话框scan data项中设定好文件的存储位置。 321.5. 然后单击工具栏中的图标 E3 进入到参数设置界面，在Scan Parameters ”中单击任意一个 链接，弹出对话框，在Length ”中输入扫描距离，“Duration ”中输入扫描时间，“Meas Range ”中 选择适当的量程。profile ”中勾选HillValleys 。依次单击 Apply和0K。 单击工具栏诃图标切换到样品表面图像，调节平台微调旋钮使十字光标在指定的测量位置。 单击工具栏的牙 图标运行，开始自动扫描。 3.2.1.8.扫描结束，软件会自动切换到曲线数据界面，看曲线是否倾斜，若曲线水平部分 /倾斜，则顺 时针调节平台水平盘，若曲线水平部分 \倾斜，逆时针调节。 单击； 重新扫描。使曲线大致达到水平。 3.2.1.9.曲线拉平处理，扫描结束后在数据界面会有两条线 |K 和I晞. 拖动R 和M将两条线分别移动到同一水平面的不同位置，拖动曲线下方的 选择适宜的宽度 3.2.1.10. 右键选择Level将曲线拉平。 3.2.1.11. 拖动到待测高度的位置，此时左下角 Watch List 窗口 中读出ASH的值并记录。单点测量结束。 3.2.2单点重复测量 3.2.2.1.前面9步与单点测量一致，只是在拉平处理是右键选择 Enter Software Leveli ng ”保留参数，然 移动到待测量高度的位置，单击 an alysis 选项选择 Analytical Func tion…..弹出对话框，在 Height中勾选 ASH单击 Compute。然后单 击 图标，看到左侧 Display Parameters 中 Software Leveling 为 Enable。 单击工具栏的I： 图标，切换到另一界面，再单击 Data file 在弹出的对话框中的 Database项 中选中Log （生成报告）并设定到指定的存储位置。依次单击 Apply , OK即可。在右侧 Scan Routines窗口中，右键单击数据，选择 Copy to Range。弹出对话框，设定扫描次数，单击 0K 3.223.单击 运行扫描，此时会弹出 Dektak Database 窗口，方便查看每次扫描 结果，结束后在窗口下方的 Average项中显示几次扫描的平均值。 重复设定的测试次数后，单点重复扫描结束。 3.2.3不同点测量 只需要在多点重复测量的基础上设置停顿，在运行扫描前单击 切换到另一界面，在 timing 项上单击，弹出对话框在 Timing 选项中勾选 Adjust Position Before Each Scan ，依 次单击Apply和OK即可 再单击工具栏的上 图标切换到样品表面图像，调旋钮使红色光标对准扫描起始位置，鼠标右键 指到结束位置，右键选择 Update Alig nment