直拉单晶工艺学.pptVIP

赛维LDK 直拉单晶工艺介绍  工艺流程 腐蚀、清洗 区熔单晶生长 直拉单晶生长 区熔单晶硅 直拉单晶硅 切片 单晶硅切片 磨片 单晶硅磨片 抛片 抛光片、外延片  直拉法生产硅单晶的工艺种类 真空工艺 气氛工艺 流动气氛 b.不流动气氛 咸压拉晶工 偏心拉晶工艺  晶体与非晶体 晶体有规则的外型 如水晶、明矾等,这些晶体都有规则的外形 玻璃、松香、塑料等外表没有一定规则 体具有一定熔点 花为操拍时奖地线们,到 (如下图) 晶体答向异性 晶体在不同方向上导热性质、力学性质、电学性质等各物理、化学性质 不同,是因为晶体各晶面格点密度的 (下图二实验)  图 品体 晶体熔化和凝固与时间关系对应曲线上岀现“温度平台”是因为熔化过程中,贔体由固态向液 化一过程需吸收一定的热量(熔化热),使贔体内原孑冇足够的能量冲破贔袼朿鏮,破坏圊态结构。 图二 云母片上石腊熔化区 玻璃片上石腊熔化区  晶面和晶向 忠榨考一无物于出做周性对称性 列,把这些微粒 显体中有无限多在空间按一定规律分布的格点,称为空间点 ■通过不在同一晶列的三个格点作一平面,这平面上必包含无数格点, 这样的平面叫晶面。 ■晶面指数——选取x,y,z平行于晶胞的三条 棱标出一个晶面,标出晶面在X,y,z轴上的 金刚石晶胞 截距,然后取截