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一、等离子体-物质第四态 如果给物质施加显著的高温或通过加速电子、加速离子等给物质 加上能量，中性的物质就会被离解成电子、离子和自由基。不断地从 外部施加能量，物质被离解成阴、阳荷电粒子的状态称为等离子体。 将物质的状态按从低能到高能的顺序排列依次为固体、液体、气体, 等离子体。 等离子体是宇宙中物质存在的一种状态 ,称为物质第四态.其中 含有电子、离子、激发态粒子、亚稳态粒子、光子等,既有导电性又 可用磁场控制,而且能为化学反应提供丰富的活性粒子 ,总体上是电 中性的导电气体。自然界中，等离子体普遍存在，地球大气外层的电 离层、太阳日冕、恒星内部、稀薄的星云和星际气体都存在等离子体， 地球上自然存在的等离子体虽不多见，但在宇宙中却是物质存在的主 要形式，估计宇宙中有99%以上的物质以等离子体的形式存在。 二、等离子体的产生 获得等离子体的方法和途径是多种多样的。通常把在电场作用下 气体被击穿而导电的物理现象称之为气体放电，如此产生的电离气体 叫做气体放电等离子体。人们对气体放电的研究己有相当长的一段历 史，目前世界各国有很多研究者正从各个方面研究和发展气体放电。 现代气体放电的研究大致可分为两个发展时期 :第一个时期是 1930 年左右，人们从理论上集中对各种气体放电的性质进行了分析和研 究，Langmuir 首次提出等离子体(plasma)的概念[1] Tonks L, Langmuir I.Oscillations i ionizedgases.Phys.Rev., 1929,33 - 1 - (2):195-210，即由电子、离子和中性原子组成的宏观上保持电中性 的电离物质;第二个时期是 1950 年左右，人们对受控热核反应的研 究。近年来，随着微电子、激光、材料的合成与改性等高新技术的发 展，气体放电得到了越来越广泛的研究与应用。运用气体放电获得等 离子体是一种直接、有效的方法。迄今为止，人们在实验室和生产实 践中产生了各式各样的气体放电形式。按工作气压的不同，气体放电 可分为低气压放电和高气压放电;按激励电场频率的不同，可分为直 流放电、低频放电、高频放电和微波放电;按放电形式及形成机制可 分为汤森放电、辉光放电、弧光放电、电晕放电和介质阻挡放电等。 在等离子体发展的不同阶段和从不同的研究角度，它的分类方法 [２] 也不同，下面介绍按温度分类的等离子体 （见下表） 等离子特性 等离子体种类与 电子密度 压力 电子 温 度 电场强度 气 体 温 度 应用 发生法 P/Torr n /cm3 E/Vcm1 T /K T/K e e 高温等离 化学合成， ICP 子体（平 弧 1014 100 ~104 ~104 发光分析，金属 20 衡等离子 光 的熔融、精炼处 体） 理等 直 10 ~109 12 50-60 100 ~104 ~7102 流 辉 000 等离子体 CVD， 光