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7-1 真空的获得与测量实验 引言 真空技术已成为先进的科学技术之一，被广泛应用于工业生产、科学研究的各个领域。 它与电子管真空工业、原子能、宇宙航行及空间科学研究、表面物理研究、微电子学等有着 紧密地联系。 真空技术的主要环节和基础是真空的获得， 真空的测量及真空检漏等， 通过本 实验我们将对这些实验的方法和手段进行初步的学习和了解。 实验预习 1． 学习旋片式机械真空泵、油扩散泵的工作原理； 2． 了解真空的获得与测量实验系统及实验注意事项。 实验目的 1．通过低真空的获得，学习使用旋片式机械真空泵和测量低真空的热偶计。掌握测量容器 的体积比。 2．通过高真空的获得，学习使用油扩散真空泵和测量高真空的电离真空计。 3．了解玻璃管和金属在高真空中的放气现象和去气方法。 4．通过制作放电管，掌握对放电管充气方法，观察放电管放电现象，并计算最佳放电时放 电管内的气压差。 4．测量氦（或氖）放电管光谱，并进行光谱分析（选做） 。 实验原理 一、真空的获得 1．真空泵 真空的获得主要是利用气体分子的运动特性，  借助真空泵把封闭在真空系统中运动的气 体分子排出泵外或者吸收（气体分子永远或暂时留在泵内） ，同时，阻止外部的气体分子通 过真空泵进入真空系统。真空系统内部由于泵口分子被排出导致系统内部的气体浓度不均 匀，气体分子会持续不断的向泵口运动，从而形成了“ 抽” 气过程，使得真空系统内部压强 低于外部空间， 即获得了真空。 对于前一种将气体分子排出泵外的系统， 称为开放式抽真空 系统，利用真空泵吸收气体分子的系统称为封闭式抽真空系统。 真空系统所能达到的真空程度与真空系统的封闭性， 真空泵的工作机理和结构， 被抽气 体的种类以及真空泵与被抽系统的连接方式有很大的关系。 不同的真空泵适用于不同的真空范围， 在实验中开放式系统常用的真空泵有： 旋片式机 械泵、油扩散泵、罗茨泵、涡轮分子泵等。封闭式系统常用的真空有：吸附泵、锆铝（钛） 泵、离子泵和钛升华泵等。 开放式系统常用的真空泵的工作原理和使用方法可参见“ 真空技术基本知识部分”  。 2．玻璃及金属的表面加热去气 玻璃及金属的表面往往会吸附大量的气体，  当玻璃及金属在大气中时，  这些气体和周围 气体达到平衡，但当周围成为真空时，平衡被破坏，吸附在表面的气体会逐渐释放出来，当 被抽的容器内压强达到 10-3Pa 时，这种现象变得愈加明显。 一般表现为真空度长时间难以提 高，或一旦停止抽气被抽系统的真空度会慢慢降低，这种现象很像系统漏气。 因此，为了获得高真空， 或在停止抽气后仍能维持原真空系统的真空度，  就需要设法除 去吸附在容器表面的气体。 实验中常用的方法是在抽到高真空的同时， 加热整个金属或玻璃， 以提高气体分子的热运动速度， 使吸附的气体更快地从表面和体内释放出来， 以达到提高系 统的真空度。 温度越高去气过程越快， 但温度不能高于被加热材料的熔点， 如玻璃一般限于 350C 0，加热的方法可以用加热电炉、高频加热法或火焰。高频加热法即把金属部件至于高频电磁场中，利用金属的感应电流（涡流）将金属加热至高温来达到去气目的。 在去气过程， 如加热太快， 真空度很可能会严重下降， 而且容易在高温下损坏玻璃或金 1 属器件，应控制加热并随时用电离真空计观察真空度变化，使其不低于 10-2 Pa，随着放气量 的减少，逐步提高温度以加速去气。 二、真空的测量 与真空获得密切相关的是真空的测量技术。  根据真空度或气体压力范围的不同，  其测量 方法也大不相同。 真空计是测量系统真空度的器件， 其基本原理是通过测量与气体压强或密 度有某种已知确定规律的物理量来表征所测量的气体压强。 真空计的种类很多， 不同的真空 计测量范围不同，只有通过把多种真空计组合起来使用，即可完成大范围的测量。 1．复合真空计 复合真空计一般是由 1～ 2 个热偶真空计和一个电离规管真空计组合起来的真空测量设 备。有关热偶真空计和电离规管真空计的工作原理，可参见“ 真空技术基础知识” 部分。 2．扩散硅压阻式差压传感器 差压传感器是压力传感器的一种。压力传感器是利用半导体材料（如单晶硅）的压阻效 应制成的器件。 半导体材料因受力而产生应变时， 由于载流子的浓度和迁移率的变化而导致 电阻率发生变化的现象称为压阻效应。差压传感器的原理结构示意图和外形图如图 7-1-1 所 示。 差压测量口 （被测压强） 内部密封传感硅片  正压力腔 测量口 固定片 U s U p 缺口 通大气口 参考压力腔 传感硅片 通大气口 （a）外形结构 （b）内部剖面示意 （c）电路接线示意 图 7-1-1 差压传感器的外形及示意图 当在差压传感器的 2、 4 两端加上一恒