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薄膜谐振器技术概述薄膜谐振技术的发展已经超过年相对于传统的石英晶体技术可获得的频率该技术达到更高的频率利用微电子进程的先进性采用压电材料的薄膜用来制造频率段至的谐振器和滤波器本文是一篇薄膜谐振技术的描述了已制造成形或者经过论证的谐振器和滤波器的核心结构和问题背景电机设备是电子系统种的重要部分例如石英晶体因为它们在电子终端表现出很高的值这正是电子系统所需要的然而机械系统只有电子终端实现高值通过机械和电子间的传输机制实现显然石英和其他所谓的压电材料中产生第一步的有效传输在机械谐振的工作频率附近一个信
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薄膜谐振器技术概述
薄膜谐振技术的发展已经超过40年，相对于传统的石英晶体技术可获得的频 率，该技术达到更高的频率。利用微电子进程的先进性，采用压电材料的薄膜用 来制造频率段500MHz至20GHz的谐振器和滤波器。本文是一篇薄膜谐振（TFR） 技术的review，描述了已制造成形或者经过论证的谐振器和滤波器的核心结构和 问题。
背景
电机设备是电子系统种的重要部分，例如石英“晶体” ，因为它们在电子终
端表现出很高的Q值，这正是电子系统所需要的。然而，机械系统只有电子终端 实现高Q值，通过机械和电子间的传输机制实现。显然，石英和其他所谓的压电 材料中产生第一
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