激光标刻工艺实践 其他资料 10b微课PPT—固体激光标刻机谐振腔的结构与装配.pptVIP

光机电应用技术国家教学资源库 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 课程：激光标刻工艺实践 主讲教师：张 伟 教学目标： 掌握固体激光标刻机谐振腔的结构和装配方法。 教学内容： 一、固体激光标刻机谐振腔的结构和装配步骤； 二、Nd:YAG晶体的安装方法与注意事项； 三、泵浦灯（氪灯或氙灯）的安装方法； 四、金属聚光腔的安装方法。 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 一、固体激光标刻机谐振腔的结构和装配步骤 1、固体激光标刻机谐振腔的结构 固体激光标刻机谐振腔即光学谐振腔，主要由全反射镜、半反射镜、工作物质和泵浦源组成，对于Nd：YAG激光标刻机，工作物质为Nd:YAG晶体，泵浦源为脉冲氙灯（或氪灯），上述两部分一般安装于密闭的聚光腔中。 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 一、固体激光标刻机谐振腔的结构和装配步骤 2、固体激光标刻机谐振腔的装配步骤 安装Nd:YAG晶体、安装脉冲氙灯（氪灯）、安装聚光腔、安装半反射镜、安装全反射镜。 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 二、Nd:YAG晶体的安装方法与注意事项 1、Nd:YAG晶体的安装步骤 拆下棒压盖，取出橡胶堵头→取出晶体，观察有无破损→将晶体水平插入聚光腔内→套上密封圈、棒压盖→旋入螺丝，使压盖将密封圈均匀压紧。 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 二、Nd:YAG晶体的安装方法 2、安装晶体的注意事项 ①晶体棒的两个端面严格平行，与棒轴垂直，经过抛光并且镀增透膜； ②使用过程中要保持棒端面光洁； ③激光器工作时，Nd：YAG晶体需用水冷却至一定温度。 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 三、泵浦灯的安装方法（以氪灯为例） 1、氪灯的结构与主要参数 氪灯主要参数：最大输入功率、工作电流、工作电压、氪灯极间距、灯的直径和长度等。 内径/mm 弧长/mm 总长/mm 外径/mm 充气 电极/mm 电参数 备注 4 100 276 6 Kr ?4.95×16 177V/30A 滤紫外 5 100 240 7 Kr ?5×15 175/30A 滤紫外 5 102 195 6 Kr ?5×15 175/30A 进口 5 100 235 7 Kr ?6×10 160/30A 国产 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 三、泵浦灯的安装方法（以氪灯为例） 2、氪灯的安装步骤 拆下灯压盖，取出密封圈、压盖→将氪灯水平插入聚光腔中，套上密封圈、压盖→旋入螺丝，使压盖将密封圈均匀压紧。 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 三、泵浦灯的安装方法（以氪灯为例） 3、氪灯的安装注意事项氪灯有正负极性；氪灯在工作时，需用水冷却。 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 四、聚光腔的安装方法 1、聚光腔的种类 常用聚光腔主要有金属和陶瓷两种： ①陶瓷腔对激光工作物质的照射光场更均匀，吸收率高； ②陶瓷材料比金属镀金腔有更好的免维护性； 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 四、聚光腔的安装方法 1、聚光腔的种类 ③陶瓷腔设计要求比较高，激光模式没有镀金腔的好； ④陶瓷腔发散角大，价格也贵2~3倍； ⑤使用陶瓷腔的激光器适于做表面处理加工； ⑥金属镀金腔的激光器适用于去除性加工。 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 四、聚光腔的安装方法 2、金属聚光腔的结构 金属聚光腔主要由上腔体、下腔体、底板、密封圈、水嘴压块、水嘴等部分组成。 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 四、聚光腔的安装方法 3、金属聚光腔的安装方法 上腔体安装→底板安装→水嘴安装 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 小结 1、固体激光标刻机谐振腔主要由全反射镜、半反射镜、Nd:YAG晶体和脉冲氙灯（或氪灯）、聚光腔组成。 2、金属聚光腔主要由上腔体、下腔体、底板、密封圈、水嘴压块、水嘴等部分组成。 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 作业 1、Nd:YAG 激光晶体的安装步骤有哪些？应注意哪些问题？ 2、氪灯的安装步骤有哪些？应注意哪些问题？ 3、金属聚光腔的主要组成部分有哪些？如何装配？ 固体激光标刻机谐振腔的结构与装配 光机电应用技术国家教学资源库