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几种薄膜淀积技术 几种主要薄膜淀积技术简介 摘要：从薄 膜淀积的现象被发现到现在， 对薄膜淀积理论的研究一直 在进行， 薄膜制造技术作为材料制备的新技术而得到广泛的应用。 本 文介绍几种主要的薄膜淀积的技术， 薄膜的形成机理， 影响薄膜的主 要因素以及优缺点。 关键词：薄膜淀积 制备技术 CVD PVD Abstract ：From the phenomenon of the film depositing is found to now , research has been in progress，the film manufacturing technique widely used as technology and materials prepared. This paper mainly introduces several major film deposition technology, the formation mechanism and main