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激光干涉位移测量技术 张欣(2015110034) 摘要：为了实现纳米级以上分辨力位移的测量研究，利用激光干涉位移测量技术可以达到纳米级分辨力， 其具有可溯源、分辨力高、测量速度快等特点，是目前位移测量领域的主流技术。本文对目前主要的激光 干涉位移测量技术进行了分类介绍，并对各种干涉仪的特点进行了分析，最后介绍了激光干涉位移测量技 术的国内外发展现状和趋势。 关键词：纳米级；激光干涉；位移测量； 1引言 干涉测量技术（interferometry ） 是基于电磁波干涉理论，通过检测相干电磁波的图样，频率、振 幅、相位等属性，将其应用于各种相关的测量技术的统称。用于实现干涉测量技术的仪器被称为干涉仪。 在当今多个科研领域， 干涉测量技术都发挥着重要的作用， 包括天文学，光纤光学，以及各种工程测量学。 其中由于上个世纪 60年代激光的研制成功，使得激光干涉测量技术在各种精密工程领域得到了广泛的应 用。它的基本功能是将机械位移信息变成干涉条纹的电信号，再对干涉条纹进行调理和细分，进而获得所 需要的测量信息。整个激光干涉测量系统中主要的组成部分有光电转换、信号调理、信号细分处理。 1.1激光干涉仪分类 激光干涉仪是以干涉测量为原理，利用激光作为长度基准，对数控设备 （加工中心、三坐标测量机等 ） 的位置精度（定位精度、重复定位精度等） 、几何精度（抚养扭摆角度、直线度、垂直度）进行精密测量