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操作確認①
RECIPE DATA的
No.１１号和No.２１号削除
;操作確認②
RECIPE №０号
RECIPE №１８号和
同様
変更是露光量２２０mj
登録;操作確認③
RECIPE №３０号
基板厚０．４５㎜
露光量１５０ｍｊ
ＧＡＰ量２００μｍ
登録;操作確認④
Ｌｉｂ的３段目
新規登録
MASK ID
SATZ001-BM973
登録;操作確認⑤
Ｌｉｂ的４段目
登録
MASK ID
削除;操作確認⑥
露光機的 SISTEM
Job:
EXPOSURE
→ THROUH
変更;操作確認⑦
GAP的
Ｔａｂｌｅ №１２に
GAP量１８０μｍ
許容値５μｍ
登録
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