2020电子特气 三氯化硼-编制说明.pdfVIP

《电子特气 三氯化硼》 国家标准征求意见稿 编制说明 标准起草工作组 2020年11月 一、工作简况 （一）任务来源 IC OLED 三氯化硼是气体或无色发烟液体，有刺鼻气味。电子级三氯化硼主要用于 、 、 LED 等半导体技术领域，是一种性能极佳的高纯半导体材料。三氯化硼作为集成电路和电 子器件用量大、纯度要求高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业，符合国家中 2006-2020 长期科学和技术发展规划纲要 （ 年）和 “十三五”科学和技术发展规划。 7 12 随着集成电路技术进步，技术节点达到 纳米，晶圆制造达到 英寸，对电子级三 2010 氯化硼的要求越来越高， 版标准的技术要求中只规定了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、 5 甲烷等 种杂质含量，对金属杂质含量的要求未做具体规定。根据现在的研究成果发现， 三氯化硼产品中还含有微量的碳酰氯、氯化氢和氯气杂质，并且也需要规定具体的金属杂 质，这些杂质对下游的使用非常关键。因此2010 版的标准已经无法满足行业发展需求， 2020 6 2020 急需修订。根据国标委发 【 】 号 《国家标准化管理委员会关于下达 年推荐性国 2020 3 家标准计划 （修订）的通知》，国家标准化管理委员会于 年 月下达了修订计划号： T-469 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出，由于标准计划下达时只能下 到总会，因此计划上是由总会归口。但是实际本标准修订工作是由气体分会组织并归口。 本标准起草单位：。 （二）工作过程的说明 2020 2020 年国家标准化管理委员会下达了 “ 年推荐性国家标准计划 （修订）” （据 2020 6 国标委发 【 】 号）， 《电子特气 三氯化硼》正式立项，标准由全国半导体设备和材 料标准化技术委员气体分会归口。为保证项目顺利实施，全国半导体设备和材料标准化技 术委员气体分会组织大连保税区科利德化工科技开发有限公司、中昊光明化工研究设计院 有限公司、中船重工 （邯郸）特种气体、太和气体 （荆州）有限公司、和立气体 （上海） 有限公司、福建久策气体集团有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析 技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资 （上海）有限公司、西南化工研究设计 院有限公司等相关单位做了大量的前期调研及草案起草工作。 SEMI 标准起草小组首先开始搜集相关的资料，国际半导体设备与材料组织 （ ）制定的 国际工业标准中，现行三氯化硼标准是：SEMI C3.33-92 (Reapproved0303)《三氯化硼标准， 2 （暂定）》 、SEMIC3.51-1101 《三氯化硼规范，纯度99.98%》、SEMIC3.27-1102 《瓶 装三氯化硼标准，纯度99.0%》。SEMI C3.33-92 规定的纯度为99.9995%，由于SEMI C3.51-1101 SEMIC3.27-1102