氩气回收项目 计划书.docVIP

技术开发项目计划任务书 项目名称 氩气回收 项目编号 立项单位 镇江荣德新能源科技有限公司 内部订单号 1、立项依据（任务来源；项目开发的目的与意义；本项目将达到的技术水平及市场前景） 目前氩气供应比较紧张，氩气价格又高。从改善低碳环境的角度出发，氩气回收将成为未来发展中一件很有意义的工作。减少了硅片的制造成本，减少了氩气的排放，循环使用节省了从空气中分离氩气所需的能耗。目前国际上还没有成熟运行的此类项目，德国的专业气体公司和美国MEMC合作在马来西亚工厂在试验。 2、开发内容和目标（项目主要内容、目标及关键技术；技术创新之处；主要技术指标或经济指标） 与东方气体公司合作，其提供能同时回收三台铸锭炉的氩气回收设备一套；在试验过程中派技术人员到现场服务和调试。 我方提供三台铸锭炉的尾气以及必要的电、水和气；并将对回收纯化后的氩气进行采样并送上海测试中心进行分析。并负责管道改造的材料。 氩气回收试验装置在荣德公司投入运行30天内，测量分析纯化后的氩气质量。 验收标准及方法： 序号 验收项目 验收标准 验收方法 1 油含量 0.1mg/m3 取样分析 2 含碳量 小于2ppm 取样分析 3 含氧量 ＜0.5ppm 取样分析 4 含氮量 小于4ppm 取样分析 5 含水量 ＜2ppm 取样分析 6 含氢量 ＜1ppm 取样分析 3、开发试验方法及技术路线（或工艺路线） 氩气回收装置采用的基