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等离子刻蚀机 1、紧凑的台式设备、可调节的 RF功率、符合CE安全标准。 2、清洗舱：长 6.5 (165mm)英寸，直径 6 (152mm)英寸; 3、常用工作气体：空气、氧气、氯气、氮气或混合气体等 4、1/8英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力 5、1/8英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合，隔离舱体和排气的快速切换 6、整机尺寸：11H x 18W x 9D (279mm x 457mm x 228mn) 档位功率设置：输入功率 200W *7、功率为低、中、高档可调，应用射频线圈，产生的等离子功率对应表: 展型样品托盘Vacuum Tray 低档功率范围:电压716V DC电流10 mA DC工作功率7.16W中档功率范围:电压720V DC电流 低档功率范围: 电压 716V DC电流10 mA DC工作功率 7.16W 中档功率范围: 电压 720V DC电流15 mA DC工作功率 10.15W 高档功率范围: 电压 740V DC电流40 mA DC工作功率 29.6W 8、真空托盘石英材质托盘,调整待处理样品的放置高度，确保处理的等离子浓度与均匀度均达到最佳。9、需配置采购高级无油真空泵系统支持各类活性气体的等离子体清洗处理；附带软管、软管箍、进气道适配器，定心环和摆动钳等连接套件。10、气体流量混合器各路气体和混合气体流量的精准控制，舱内压力的实时监控，可支持两路气体输入 技术规格1、等离子清洗机主机★ 1.1台式设备、功率为低、中、高档可调，符合 CE安全标准。1.2腔体材质：圆柱形派热克斯玻璃舱; 8、真空托盘 石英材质托盘, 调整待处理样品的放置高度，确保处理的等离子浓度与均匀度均达到最佳。 9、需配置采购高级无油真空泵系统 支持各类活性气体的等离子体清洗处理；附带软管、软管箍、进气道适配器，定心环和摆动钳等连接套件。 10、气体流量混合器 各路气体和混合气体流量的精准控制，舱内压力的实时监控，可支持两路气体输入 技术规格 1、等离子清洗机主机 ★ 1.1台式设备、功率为低、中、高档可调，符合 CE安全标准。 1.2腔体材质：圆柱形派热克斯玻璃舱; ★ 1.3 腔体尺寸：长 6.5 (165mm)英寸，直径 6 (152mm)英寸; 1.4腔体容积：3升; 1.5应用最大到30W的射频线圈; 1.6 1/8 英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力; 1.7 1/8 英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合，隔离舱体和排气的快速切换; 1.8档位功率设置：输入功率 200VY 1.9应用射频线圈，产生的等离子功率对应表: 低档功率范围：电压 716V DC电流10 mA DC工作功率7.16W 中档功率范围：电压 720V DC电流15 mA DC工作功率10.15W 高档功率范围：电压 740V DC电流40 mA DC工作功率29.6W ★ 2.、真空油泵 Vacuum Pump 2.1 峰值抽速：(60 Hz)5.1 m3/h ★ 3、气体流量混合控制器 3.1气体和混合气体流量的精准控制，舱内压力的实时监控，可支持两路气体输入处理样品。4. 3.1气体和混合气体流量的精准控制，舱内压力的实时监控，可支持两路气体输入处理样品。 4. HQT-1 扩 4.1石英材质托盘，调整待处理样品的放置高度，确保处理的等离子浓度与均匀度均达到最佳。 5、 原装进口针型阀三通阀套装 6、 RF测试荧光灯管 差示扫描H热仪技术规格 一、 设备名称：差示扫描量热仪 二、 用途：在程序温度控制下，测量样品的吸放热与温度（或时间）的函数关系，表征材料相变过程的特 征温度及热粉。 三、 交货期：合同签订后三个月 四、 技术指标和参数： 1.1.温度范围：-170~600 C 1.2.制冷方式：双制冷系统，液氮制冷和机械制冷同时安装，使用时无需插拔，只需软件切换 1.3 .升 /降温速率：0.001 ?500 C /min 1.4.温度准确度:0.1 C （标准金属） 1.5.热粉准确度： 也.5% （标准金属 ）温度重复性： 也.01C 热粉重复性：±0.1% 灵敏度：0.1 pw 测量范围：=750mW 基线漂移：土0pw（-50C ?300 C） 温度/热粉校正： 多点标样，非线性校正技术 气流控制：内置式 3路质量流量计，软件自动切换 1.13 .自由转换的中英文智能控制 /分析软件，支持 Win 10。 1.14.附件 1） 校准标样：1套用于标定热粉和温度（含6个标样，全量程） 2） 液氮制冷系统 3） 机械制冷系统 4） 配备concavus铝土甘蜗 五、 技术服务要求 并同时在现场对用户进行操作5.1供应商必须提供仪器的现场安装调试并达到投标书指标要求的技术性能, 培训。 并同时在现场对用户进行操