微光刻与微纳米加工技术.pdf

微光刻与微纳米加工技术 Micro-Lithography and Micro-nanofabrication Technologies 虽然就这十一个字，我们整整干了四十年，既有一些比较漂亮的工作，也有不少刚刚涉足的领域，感谢大 会给我向各位同行们汇报一下我们和我们的学生们这些年中努力的成果及并能够和大家互相交流的机会。本报 告的相应约八万的文字内容已作为基金委组织编写“半导体科学展望”一书的第九章，将由科学出版社出版。 中国科学院微电子研究所 微细加工与纳米技术研究室 陈宝钦 IMECAS 010 chenbq@ 刘 明 徐秋霞 李金儒 赵 珉 王 琴 汤耀科 薛丽君 刘珠明 王德强 任黎明 胡 勇 龙世兵 陆 晶 杨清华 张立辉 范东升 康晓辉 牛洁斌 四十年 四十年 前 前