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下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 31 ? 电感量计算公式: L ≈ w 2 μ 0 S /2 δ L — 电感量; w — 线圈匝数; μ 0 —— 空气 导磁系数; S — 气隙截面积; δ — 气隙的厚度。 电感量正比于通磁气隙面积,反比于气隙厚度。 1) 气隙式电感传感器 —— 改变气隙厚度而 使电感量发生变化的原理制成的。 2) 截面式电感传感器 —— 改变通磁气隙的 面积而使电感量发生变化的原理制成的。 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 32 使用中采用将两个相同的电感传感器结合在 一起作差动电感传感器变换。 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 33 差接式螺旋管式传感器工作原理 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 34 ? 气动式量仪 ? 气动量仪是利用气体在流动过程中某些物理 量(主要是流量、压力)的变化来实现长度 测量的一种装置。 装置 ? 分类 过滤器 稳压器 指示器 测量头 气动量仪 气压计式(将工件尺寸变化转变成气流压力的变化) 流量计式(将工件尺寸变化转变成气流流量的变化) 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 35 ? 流量式气动量仪 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 36 S 变化 , Q 随着变化。浮标上下浮动。当流过浮 标周围处的空气流量等于测量喷嘴流量时,浮 标停止不动。 ? 流量关系式: Q= ?( π d S) = ?`(S) 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 37 ? 光学机械式量仪 ? 立式光学计 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 38 ? 该仪器主要原理是用光学自准原理和机 械的正切杠杆原理。 ? 用于比较测量。 放大倍数:K=cc”/s= ?tg 2a/btg a≈ 2?/b ? 干涉仪 ? 利用光波干涉原理,将被测量的信号转换为 干涉带的信号输出。 ? 主要用于精密测量,如测量量块等。 ? 测量方法主要是比较测量 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 39 按迈克尔逊干涉原理设计的 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 40 ? 当光程差为波长的一半(λ / 2 )的偶数倍时, 光线加强最多,形成亮带;当光程差为λ / 2 的奇 数倍时,光线减至最弱,形成暗带。 ? 改变参考镜( 7 )与光轴的倾角,可调整干涉带 的方向和宽度。 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 41 ? 以气隙 h 的变化量作为测量输入信号χ ,而 以干涉带间距 ? 作为输出信号 y 。当χ= λ /2 时,则有: K = = = 1/tg ? 改变 ? 角,可改变放大比。 ` 2 ? ? ? y 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 42 2.6 坐标测量机中的光栅与激光测量原理 ? 光栅装置 ? 利用由光栅所产生的莫尔条纹 ( Moire Fringes ) 和光电效应,将测量位移所得的光信号转换 为电信号,对直线位移或角位移进行精密测 量。 光栅分类 长光栅(相当线纹密度高的刻度尺) 圆光栅(相当线纹密度高的分度盘) 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 43 ? 莫尔条纹 将两块栅距相同的长光栅跌在一起,保持 0.01 ~ 0.1 ㎜ 的间距,光栅线纹并相交一个很小的角度。当光 源照射时,由于光的干涉效应,会出现明暗交替相间的 间距相等的条纹。 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 44 w w B θ Θ /2 o A C 标尺光栅 指示光栅 2 ? OAsim OC ? B OA W OC ? ? ? ? 2 2 2 ? sim B W ? ? ? , 2 2 ? ? ? ? ? sim 很小, 又 ? ? W B ? , 因此 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第 二 章 ) 45 ? 根据几何关系: B≈ ? 优点: 1. 放大作用 2. 误差均化作用 ? 测量时,沿 X 方向光栅相对每移动一个栅距 (W), 则莫尔条纹大约在 Y 轴方向移动一个条纹间距 ( B )。利用这个特性,通过计数装置得到莫尔条 纹数,来测量相对位移。 ? 计数原理 ? W 下午 5 时 24 分 互 换 性 与 技 术 测 量 ( 第
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