2020扫描电镜的结构原理及其操作使用.pptVIP

扫描电镜 的 结构、原理 及其 操作使用 一、实验目的 ? 了解扫描电镜的工作原理及构造。 ? 初步学习 Sirion200 场发射扫描电镜 的操作方法。 ? 利用二次电子像对断口形貌进行观 察。 二、扫描电镜的构造 优点： ? 景深长、图像富有立体感； ? 图像的放大倍率可在大范围内连续改变，而 且分辨率高； ? 样品制备方法简单，可动范围大，便于观察； ? 样品的辐照损伤及污染程度较小； ? 可实现多功能分析。 二、扫描电镜的构造 构成： ? 电子光学系统，包括电子枪、电磁透镜和扫 描线圈等； ? 机械系统，包括支撑部分、样品室； ? 真空系统； ? 样品所产生信号的收集、处理和显示系统。 二、扫描电镜的构造 图 1 Sirion 200 扫描电镜外 观照片 二、扫描电镜的构造 图 2 扫描电子显微镜 构造示意图 (a) 系统方框图 二、扫描电镜的构造 图 2 扫描电子显微镜构 造示意图 (b) 电子光路图 二、扫描电镜的构造 电子光学系统 包括 : ? 电子枪 ? 电磁聚光镜 ? 扫描线圈 ? 光阑组件 二、扫描电镜的构造 ? 电子枪 为了获得较高的信号强度和扫描像， 由电子枪发射的扫描电子束应具有较高 的亮度和尽可能小的束斑直径。 常用的电子枪有三种：普通热阴极三 极电子枪、六硼化镧阴极电子枪和场发 射电子枪，其性能如表 1 所示。 二、扫描电镜的构造 表 1