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镀膜设备用AD590型温度计应用设计 摘要 随着信息领域各种技术的发展，在数据方面的技术也取得 了很大的进步，数字化控制无疑是人们追求的目标之一，它给人 带来的方便也是不可否定的。采集数据的信息化是目前社会的主 流发展方向，各种领域都用到了数据采集，数据采集系统已经在 测控领域中占到了统治地位。本设计主要介绍了一个用于 PVD镀 膜设备用基于 ADC0809 芯片的温度采集系统，从立题学习到 设计，以及各连接电路各部分都有详细的描述。它利用温度 传感器 AD590 检测环境的温度，将信号传给模数转换器，将模 拟信号转换成数字信号，下级接外围电路，然后将信号传输到显 示系统进行显示，显示准确度高，不易误读，分辨率高，特别是 在测量小的温度变化时比较准确，它主要用于对测温比较准确的 场所。 AD590 与 ADC0809 结合实现最简温度检测采集系统， 该系统结构简单，抗干扰能力强，适合于恶劣环境下进行现 场温度测量，有广泛的应用前景， 同时也适应了生产和发 展的要求 。 关键字： 数字化、测控、模数转换器、抗干扰能力 引言 随着人们生活水平的不断提高 , 数字化控制无疑是人们追求的目标之 一，它所给人带来的方便也是不可否定的，其中数字温度计就是一个典型的 例子，但人们对它的要求越来越高，要为现代人工作、科研、生活、提供更 好的更方便的设施就需要从数单片机技术入手，一切向着数字化控制，智能 化控制方向发展。在精确与快捷当道的现代社会，人们在生产过程中会越来 越多的关注与精密而实用的仪器，在数据方面的技术也取得了很大的进步， 采集数据的信息化是目前社会的主流发展方向，各种领域都用到了数据采 集，数据采集系统已经在测控领域中占到了统治地位。例如，温度计，就有 从之前的传统温度计比如水银温度计逐渐向数字转变的趋势，它具有读数方 便，测温准确，其输出温度采用数字显示等优势，数字温度计已经普及到我 们生活，工作，科研，各个领域，已经成为一种比较成熟的技术，本文主要 是介绍8.5代液晶面板厂内的PVD镀膜设备外部用温度计应用的设计。 PVD镀膜设备PVD（Physical Vapor Deposition） ，指利用物理过程 实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可 以是某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在 性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能！ PVD基本方法：真空蒸 发、溅射、离子镀（空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性 反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀 物理气相沉积技术PVD介绍 物理气相沉积具有金属汽化的特点，与不同的气体发应形成一种薄膜涂 层。今天所使用的大多数 PVD方法是电弧和溅射沉积涂层。这两种过程需 要在高度真空条件下进行。 Ionbond阴极电弧PVD涂层技术在20世纪70年代后期由前苏联发 明，如今，绝大多数的刀模具涂层使用电弧沉积技术。 工艺温度 典型的PVD涂层加工温度在250 C— 450 C之间，但在有些情况下 依据应用领域和涂层的质量， PVD涂层温度可低于70 C或高于600 C进 行涂层。 一、 总体设计方案 2、总体设计方案 2.1数字温度计设计方案论证 由于本设计是用于PVD镀膜设备的测温电路，可以使用热敏电阻之类的器件利用其感温效应，在将随被测温度变化的电压或电流采集过来，进行 A/D转换；即首先在温度采集电路中由 AD590模拟式温度传感器将温 度信号转化为模拟信号，再利用功放将其信号进行放大传输到 ADC0809芯片中进行 A/D转换。最后以得到的数字信号来控制 FPGA的 编程，将得到的信号传送到在显示电路上显示，在这里是将信 号传送到 QII板中进行显示. 2.2总体设计框图 首先要考虑的问题是温度的采集问题，通过查阅相关的资料及老师的 讲解，我对这个温度采集电路有一定的了解了，在自己的脑海中已经形成了 一个大体的框架。温度传感器采用 AD590，模数转换器采用 ADC0809， 用QII板的数码管以串口传送数据实现温度显示。数字温度计电路设计总 体设计方框图如下图所示： 传感器AD59转换器!显示器 传感器AD59转换器! 显示器 如下图示，为温度传感器 AD590的实物图和电路符号图 AD590是美国模拟器件公司生产的单片集成两端感温电流源。它的 主要特性如下： 流过器件的电流（mA等于器件所处环境的热力学温度（开尔文）度数， 即： mA/K流过器件（AD590的电流，单位为mA T—热力学温度，单位为K。 AD590的测温范围为-55 C?+150C。 AD590的电源电压范围为4V?30V。电源电压可在4V~6V范围变化，电流 变化1mA相当于温度变化1K。AD590可以承受44V正向电压和20V反向电 压，因而