第20节成分价键理论和X射线光谱分析3.pptVIP

图 4 EDS 应用实例一 —— 成分分析 EDS 谱线收集完毕后定量计算的结果，给出了重量和原子百分比。 EDS 谱线实 时收集的结果， 纵坐标是 X 射 线光子的计数 率 CPS ，横坐 标是元素的能 量值（ KeV ）。 在 电镜中 看到的 形貌及 需要分 析的区 域 ( 点或 面 ) 。 ? 元素的线分析 图 5 是 EDS 应用实例之二 —— 元素的线分析。图中 的白线是电子束扫过的分析区域，它通过了晶内及块 状相（线的正中间白色）、晶界（线的右边白色）。 从元素的分析结果可以看出：正中间白色块状相主要 含 Cu 、 Ni 、 Er 元素，右边白色晶界上的相主要含 Cu 、 Ni 、 Er 、 Mg 和 Zr 元素。 能谱分析举例 图 5 EDS 应用实例之二 —— 元素的线分析 ? 元素的面分布 图 6 是 EDS 应用实例之三 —— 元素的面分布。图中 区域 1 是我们在电镜中看到的形貌。图中区域 2 、 3 、 4 是 EDS 信号收集完毕后给出的不同元素的定性结果。 说明图中区域 1 中间的白点和右下边白色三角区域都 有元素的偏聚。 能谱分析举例 图 6 EDS 应用实例之三 —— 元素的面分布 应用 application