气体放电物理_(导言).pptVIP

实现聚变的三种途径 主要参数 Pf = 500MW Q 10 T = 500 s R = 6.2 m A = 2.0 m Ip = 15 MA B = 5.3 T V = 837 m3 S = 678 m2 Pin= 73 MW 46亿美元 ITER：我们的托卡马克聚变实验堆 中国惯性约束聚变装置神光II、星光II 气体放电的传统应用 化学过程 刻蚀 化学气相沉积（成膜） 材料处理 表面改性 灭菌消毒 表面冶金 光源 冷光源（节能，线光谱） 气体激光器 等离子体显示器 电子能量（eV） 远大于分子键能 （0.1eV） 非热平衡体系，背景温度低，电子温度高，存在大量的活性粒子 纳米尺度上针尖状表面 特征类金刚石表面制造 非平衡薄膜表面制造的研究，成功地制备了纳米尺度的针状表面、波纹表面，树枝状表面、正弦表面等表面结构，其中波纹表面，是应用薄膜生长过程的自组织过程中直接形成的。（J. Chem.Phys. 116, 10458，2002） 纳米尺度上波纹状表面 树枝状表面 大面积正弦表面 毫米级厚金刚石片制备研究 应用PCVD方法可以稳定地制备高质量毫米量级厚度的金刚石片，并用金刚石膜加工成金刚石电子热沉片，热导率高达7.6W/(k·cm)，可用于大功率电子器件。（ Physics of Plasma, 5, 1541, 1998