单晶寿命测定作业规程.docVIP

1.目标 经过正确操作正确测定载流子真实寿命。 2.适用范围 ① 电阻率大于0.1Ω·cm，厚度小于1.5mm（最好为1mm以下）单晶锭或样片。 ② 可测单晶少子寿命范围：100nS～5000mS。 3.使用设备·治工具 1、WT-1000型SEMILAB单晶寿命仪 4.使用材料 ①大于5％HF ②约70％HNO3 ③0.2～5％碘酒 5.环境要求 ①温度：10～35℃ ②湿度：＜80％ ③电源：220V, 50Hz（提议使用稳压源） 6.关键工艺参数 见操作步骤。 7.操作步骤 将主机和显示器电源和外部交流电源连接起来。 打开主机电源和显示器电源（显示器右下角），然后双击显示器幕上图标uPCD，最终显示测试画面。以下图： 样片处理： 3.1 现在使用切片机有外圆切片机和内圆切片两种，所切样片厚度为2mm左右。 3.2 用混酸腐蚀10分钟（一次腐蚀样片数为6—8片），确保样片表面层去除量大于200μm.。 3.3 用腐蚀槽旁边纯水冲洗30秒。（纯水电导率为2MΩ.cm ） 3.4 然后用液流槽里纯水液流3分钟。（纯水电导率为10 MΩ.cm） 3.5 用10%HF酸漂30秒 3.6 用腐蚀槽旁边纯水冲洗30秒。 3.7 然后用液流槽里纯水液流3分钟。 3.8 用压缩空气吹干 3.9 .加3%碘酒测试寿命 样片测试：有以下二种方法测试，将依据用户关联比对情况来选择测试方法。 将处理后样品置于样片袋中，将袋口打开，向里注射约1CM3碘酒并将碘酒均匀涂在样片上，排除里面气泡后闭合袋口。约1分钟后放置在仪器载物台上开始准备测试。 将处理后样片直接放置在仪器载物台上。 载物台上样片依据样片尺寸来正确定位。 5.1 载物台上有二排成扇型小孔，由中心向边缘分布，分别测试3英寸；4英寸；5英寸；6英寸；8英寸； 12英寸样片。 5.2 小孔里有限位栓，可依据测试不一样样片来调整限位栓位置。具体以下图所表示： 测5英寸测6英寸测8英寸测12英寸限位栓 中心测试点 （测试头所在位置） 测5英寸 测6英寸 测8英寸 测12英寸 限位栓 中心测试点 （测试头所在位置） 测4英寸测3英寸 测4英寸 测3英寸 样片位置确定后，点击测试画面左上角“AUTOSET”，自动进入测试状态，几秒钟后屏幕上方显示测试结果即载流子寿命和衰减曲线。以下图所表示： 把测试结果统计在《单晶寿命测试台帐Ⅱ》里。 测试完成后同电脑一样关闭测试设备。 9）异常处理 测试结果出现为“NA”时请向上长反应。 10）安全事项 腐蚀时注意安全，预防酸溅到身上。 使用电源电压220V，避免触电危险。 11）统计表格 单晶寿命检测台帐Ⅱ。（见附录1） 附录1 单晶寿命检测台帐Ⅱ S/QRIN8240107-01 样片编号 寿命值 测试时间 测试员 备 注