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（二）原子系数校正因子 K Z ： 对非纯样中元素 wt% 为 C ， N 则该元素原子数量为： C ? ? A 由： E O 同理： N Q N * n ? dE n ? C ? A E C S 0 A 应有： n ? C n * Q dE * ? S E C Q dE ? S E C 0 E 0 E 0 Q dE * ? S E C E 0 （二）原子系数校正因子 K Z ： 若考虑背散射因素影响： 以 R o 表示纯元素的背散射系数 ( 可查） , 试样中实际产生的 X 光子数 定义： R 0 ? 如果没有背散射因素可 能获得的光子数 对非纯样： R ? ? C R i oi E 0 Q dE * ? * n R E C S ? C ? E 则有： n R 0 0 Q dE ? S E C 0 （二）原子系数校正因子 K Z ： E 0 Q n * R E ? * dE C S n ? C R ? 0 E 0 显然 E ? Q dE C S 0 又 ： n * I ? ? P n ? I ? P ? K I ? P Z ? C I ? ? P E 0 ? K R 0 E ? Q dE C S 0 Z ? R ? E 0 Q * dE E ? C S 材料显微结构分析方法 清华大学研究生课程 VI. X 射线微区分析 （ EPMA ） 电子探针 一 . EPMA 定量分析 ( 一 ) 定量分析基础： 电子束同时激出各元素特征谱及连续谱， 关键建立各元素特征谱强度之间的影响关系。 例： A,B,C 三元素 Z B ? Z A ? Z C I K ? ( A ) K ? ( C ) K ? ( B ) ? K ? ( B ) ? ? K ? ( A ) ? ? K ? ( C ) 叠加在从短波限 h ? 0 开始的连续 X 线谱上。 E c ( A ) h ? 0 h ? A 元素特征谱的总强度应有两部分组成： 1. 原激发 K α ( A ) 2. 连续谱从 Ec ( A ) ? h ? o 及 K ? ( B ) 对 A 的荧光激发（基体增强） 可见，不与 A wt% 成线性关系， 探测到试样中 A 元素的 ： I p : 初级辐射强度 K ? ( A ) 强度 I ? I ? ? I ? I * A * P * f * C I f : 由其它元素特征辐射引起的激发强度 I c : 连续谱引起的强度 *: 待测试样 设 k : 试样中 A 元素 X 射线强度 I* 与 I 纯 A 元素标样 X 射线强度 I 之比： ? k I * * * I P ? ? I f ? I C 则有： k ? I P ? ? I f ? I C 那么： 以 ： ? k ? I ? ? I * P * f I P ? ? I f ? 0 忽略 I 及 I C * C I ? P 代表在试样原子位置的原激发结果 f P 代表 X 光从试样射出时被吸收的结果 则有： I P ? I ? P ? f P I ? I ? ? f * P * P * P * P ∵ k ? * I ? ? I I P * P * f I ? I ? ? f P ? f ? ? I ? ∴ k ? ? I ? ? f I P P P ? f P * f ? P * P ? ? I ? 1 ? ? ? * ? ? I ? P ? f P ? ? ? * f I ? f k ? ? I ? f P P ? P * P ? I ? ? 1 ? ? I ? ? * f * P ? ? ? ? 若假设不考虑吸收及荧光激发 ， I ? or K Z ? C 则元素重量百分比 C ： ? K Z C I ? P f 1 令： ? K A f P * P ? P I ? P ? I ? P f P or K A ? * f P * f * P K Z 即为原子系数校正因子 Z 。 K A 即为原子吸收校正因子 A 。 I 令： 1 ? 1 ? ? K F I ? I ? or K F ? ? 1 ? ? * ? I ? P ? ? ? * f ? 1 K F 即为荧光校正因子 F 。 I ? P K Z ? C ? I ? P ? I ? K F ? ? 1 ? ? * ? I ? P