深入了解扫描电镜扫描电镜(SEM)电子透镜的介绍.docxVIP

深入了解扫描电镜：扫描电镜（SEM）电子透镜的介绍 发布者：飞纳电镜 扫描电镜（ SEM）利用电子束对样品进行纳米级分辨率的图像分析。灯丝释放出电子，形成平行的电子束。然后，电子束通过透镜聚焦于样品表面。电子透镜是如何工作的？存在 哪几种电子透镜？电子透镜是如何聚焦电子的？在这个博客中，我们将回答这些问题，并对电子透镜的工作原理给出一个大致的解释。 扫描电镜：电子、电子束和电子透镜 在上一篇博客中 ，我们简短地介绍了扫描电镜（ SEM）是如何工作的。电子从灯丝中释放 出来，然后平行于电子透镜。 你可以在这里阅读更多关于 CeB6 灯丝和钨灯丝的比较 。 电子束穿过镜筒——由一组透镜组成，透镜把电子束聚焦到样品表面上。电子显微镜透镜可以是静电的，也可以是有磁性的，这取决于它们是用静电场还是磁场来聚焦电子束。为了更好地理解这些透镜的工作原理，让我们回过头来看看电子是如何在静电场中偏转的。 [1,2] 导向板 电子是带负电的粒子，在高能量的镜筒中穿行。使这些粒子偏转的一种方法是让它们通过 由两个板块在电势+ U 和-U 上产生的电场，如图 1a 所示。 在电场的影响下，电子的偏转角度取决于电子能量，板块之间的电场以及板块的长度。 电子的速度越快或能量越强，偏转角度就会越小。电场越高，板块越长，偏转角度越大。 一个由两种不同电位板组成的装置称为导向板。 为了得到一个静电透镜，可以考虑反射